Puslaidininkių technologija yra šiuolaikinės pramonės pagrindas, leidžiantis tiksliai valdyti ir perduoti signalus įvairiose srityse – nuo elektroninių prietaisų ir ryšių sistemų iki dirbtinio intelekto ir naujų energetikos sektorių. Tarp įvairių puslaidininkinių medžiagų monokristalas silicis užima nepakeičiamą vietą, o jo grynumas tiesiogiai lemia įrenginio veikimą ir energijos konversijos efektyvumą.
Monokristalio silicio gamybai reikalinga specializuota aplinka, paprastai vadinama kristalų traukimo procesais. Vakuuminė technologija atlieka labai svarbų vaidmenį pašalinant orą ir priemaišas, užtikrinant itin švarią erdvę silicio kristalams augti. Norint palaikyti vakuuminės kameros švarą ir apsaugoti vakuuminį siurblį, reikia pasirinkti profesionalą.vakuuminio siurblio dulkių filtras.
Svarbus vakuuminių siurblių dulkių filtrų vaidmuo puslaidininkių pramonėje
Vakuuminio siurblio dulkių filtraiveikia kaip esminiai barjerai, užtikrinantys stabilų vakuuminių sistemų veikimą. Jie efektyviai sulaiko dulkių daleles, kurios kitaip patektų į vakuuminį siurblį, apsaugodami nuo mechaninio susidėvėjimo ir alyvos grandinės užsikimšimų. Puslaidininkių gamybos aplinkoje net ir submikroninės dalelės gali sukelti gardelės defektus, kurie turi įtakos lustų našumui ir išeigai.
Svarbiausi filtrų pasirinkimo puslaidininkių pramonėje aspektai
1. Filtravimo tikslumasTinkami filtravimo lygiai turi būti parinkti pagal proceso reikalavimus, paprastai reikalaujant 0,1 mikrono ar didesnio filtravimo tikslumo.
2. Medžiagų suderinamumasFiltrų medžiagos turi būti suderinamos su proceso dujomis ir vakuumine aplinka, paprastai tam reikalingas nerūdijantis plienas arba specialūs lydiniai.
3. Dulkių sulaikymo talpaNors filtravimo tikslumas yra išlaikomas, norint pailginti tarnavimo laiką, reikalingas pakankamas dulkių sulaikymo pajėgumas.
4. Slėgio kritimo charakteristikos: tiek pradinis, tiek galutinis slėgio kritimas turi būti kontroliuojamas priimtinose ribose.
Specialūs filtrų reikalavimai puslaidininkių pramonei
Puslaidininkių gamyba kelia itin aukštus reikalavimus vakuuminei aplinkai:
- Švaros reikalavimai: palaikyti 10 ar aukštesnės klasės švarią aplinką
- Stabilumo reikalavimai: ilgalaikis stabilių vakuumo lygių palaikymas
- Užterštumo kontrolė: vengti bet kokio galimo alyvos garų ar kietųjų dalelių užteršimo
Rekomenduojami filtravimo sprendimai puslaidininkių pramonei
Puslaidininkių pramonei rekomenduojama daugiapakopė filtravimo sistema:
1.Išankstiniai filtrai:Sulaiko didesnes daleles, kad apsaugotų kitus tikslius filtrus
2. Pagrindiniai filtraiNaudokite didelio efektyvumo filtravimo medžiagas, kad užtikrintumėte reikiamą tikslumą
3. Cheminiai filtrai (kai reikia)Pašalinkite galimus dujinius teršalus
Tinkamo pasirinkimovakuuminio siurblio filtraine tik prailgina įrangos tarnavimo laiką, bet ir užtikrina proceso stabilumą bei produkto išeigą, užtikrindamas patikimą apsaugą didelio masto nepertraukiamai gamybai puslaidininkių pramonėje.
Įrašo laikas: 2025 m. rugpjūčio 26 d.
