Kas ir vakuuma pārklāšana?
Vakuuma pārklāšana ir uzlabota tehnoloģija, kas vakuuma vidē ar fizikālām vai ķīmiskām metodēm uzklāj funkcionālas plānas plēves uz substrātu virsmas. Tās galvenā vērtība ir augsta tīrība, augsta precizitāte un vides aizsardzība, un to plaši izmanto optikā, elektronikā, instrumentos, jaunās enerģijas un citās jomās.
Vai vakuuma pārklāšanas sistēmai ir jābūt aprīkotai ar ieplūdes filtriem?
Vispirms noskaidrosim, kādi ir biežāk sastopamie piesārņotāji vakuuma pārklāšanā. Piemēram, daļiņas, putekļi, eļļas tvaiki, ūdens tvaiki utt. Šie piesārņotāji, nonākot pārklāšanas kamerā, samazinās nogulsnēšanās ātrumu, padarīs plēves slāni nevienmērīgu un pat sabojās aprīkojumu.
Situācija, kad vakuuma pārklāšanai ir nepieciešami ieplūdes filtri
- Pārklāšanas procesa laikā mērķa materiāls izšļaksta daļiņas.
- Plēves slāņa tīrības prasības ir augstas, īpaši optikas un pusvadītāju jomā.
- Ir kodīgas gāzes (tās viegli rodas reaktīvā izsmidzināšanā). Šajā gadījumā filtrs galvenokārt tiek uzstādīts, lai aizsargātu vakuumsūkni.
Situācija, kad vakuuma pārklāšanai nav nepieciešami ieplūdes filtri
- Daudzi vakuuma pārklāšanas pakalpojumu sniedzēji izmanto pilnīgi bez eļļas esošas augsta vakuuma sistēmas (piemēram, molekulāro sūkni + jonu sūkni), un darba vide ir tīra. Tāpēc nav nepieciešami ieplūdes filtri vai pat izplūdes filtri.
- Pastāv vēl viena situācija, kad ieplūdes filtri nav nepieciešami, tas ir, plēves slāņa tīrības prasība nav augsta, piemēram, dažiem dekoratīviem pārklājumiem.
Citi par eļļas difūzijas sūkni
- Ja tiek izmantots eļļas sūknis vai eļļas difūzijas sūknis,izplūdes filtrsir jāuzstāda.
- Polimēru filtra elements nav izturīgs pret difūzijas sūkņa augsto temperatūru
- Izmantojot eļļas difūzijas sūkni, sūkņa eļļa var tecēt atpakaļ un piesārņot pārklājuma kameru. Tāpēc, lai novērstu negadījumu, ir nepieciešams aukstuma slazds vai eļļas deflektors.
Noslēgumā, vai vakuuma pārklāšanas sistēmai ir nepieciešamaieplūdes filtriatkarīgs no procesa prasībām, sistēmas konstrukcijas un piesārņojuma riska.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 19. aprīlis
