Plāno kārtiņu uzklāšanas sarežģītajā pasaulē elektronu staru (e-staru) iztvaikošana izceļas ar spēju radīt augstas tīrības pakāpes, blīvus pārklājumus. Fundamentāls jautājums par šo tehnoloģiju ir, vai tai ir nepieciešams vakuumsūknis. Atbilde ir nepārprotama “jā”. Augstas veiktspējas vakuuma sistēma nav tikai piederums, bet gan absolūts priekšnoteikums, lai process darbotos efektīvi un lietderīgi.
Elektronstaru iztvaikošanas pamatā ir augstas enerģijas elektronu stara fokusēšana uz avota materiāla (piemēram, zelta, silīcija oksīda vai alumīnija), kas atrodas ar ūdeni dzesējamā tīģelī. Intensīvā lokālā karsēšana izraisa materiāla kušanu un iztvaikošanu. Šie iztvaicētie atomi pēc tam pārvietojas tiešā redzamības ceļā un kondensējas uz substrāta, veidojot plānu plēvi. Visa šī secība ir kritiski atkarīga no augsta vakuuma vides, parasti diapazonā no 10⁻³ Pa līdz 10⁻⁶ Pa.
Šāda ekstremāla vakuuma nepieciešamība ir trīskārša. Pirmkārt, tas nodrošina elektronu stara netraucētu pārvietošanos. Pārāk daudzu gāzes molekulu klātbūtnē elektroni izkliedētos un sadurtos, zaudējot enerģiju un nespējot piegādāt koncentrētu siltumu mērķim. Stars defokusētos, padarot procesu neefektīvu.
Otrkārt, un vissvarīgāk, vakuuma vide garantē uzklātās plēves tīrību un kvalitāti. Bez tās atlikušās gāzes, piemēram, skābeklis un ūdens tvaiki, piesārņotu pārklājumu divos postošos veidos: tās ķīmiski reaģētu ar iztvaicēto materiālu, veidojot nevēlamus oksīdus, un tās kā piemaisījumi tiktu iekļautas augošajā plēvē. Tā rezultātā plēve ir poraina, mazāk lipīga un tai ir sliktākas mehāniskās un optiskās īpašības. Augstais vakuums rada tīru, "balistisku" ceļu iztvaicētajiem atomiem, ļaujot tiem kondensēties blīvā, vienmērīgā un augstas integritātes slānī.
Visbeidzot, vakuums aizsargā elektronu lielgabala kvēldiegu. Termioniskais katods, kas izstaro elektronus, darbojas ārkārtīgi augstā temperatūrā un, nonākot saskarē ar gaisu, oksidētos un izdegtu gandrīz acumirklī.
Tāpēc ir nepieciešama sarežģīta sūknēšanas sistēma, kas apvieno rupjos sūkņus un augsta vakuuma sūkņus, piemēram, turbomolekulāros vai difūzijas sūkņus. Noslēgumā jāsaka, ka vakuuma sūknis ne tikai nodrošina elektronu staru iztvaikošanu, bet arī to definē, veidojot nesaraujamu saiti, kas ir būtiska augstas veiktspējas pārklājumu ražošanai, ko pieprasa nozares, sākot no pusvadītājiem līdz optikai.filtrilai aizsargātu vakuuma sūkņus, ja tādu nav,sazinieties ar mums.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 12. novembris
