Iztvaikošanas pārklāšana, kas ir fizikālās tvaiku uzklāšanas (PVD) pamatprocess, būtībā balstās uz vakuuma tehnoloģiju. Vakuumsūknis nav tikai palīgierīce, bet gan stūrakmens, kas nodrošina visa procesa norisi, radot un uzturot augsti kontrolētu molekulārā mēroga vidi. Tā funkcija sniedzas tālāk par vienkāršu gaisa atsūknēšanu, radot precīzus fizikālos apstākļus, kas nepieciešami augstas kvalitātes funkcionālu plāno plēvju uzklāšanai.
Galvenais iemesls, kāpēc nepieciešams augsts vakuums, ir nodrošināt iztvaikojušo daļiņu taisnvirziena pārvietošanos. Atmosfēras spiedienā gāzes molekulu augstais blīvums izraisa tūlītējas un nejaušas sadursmes, izkaisot pārklājuma materiālu. Augstā vakuumā (parasti no 10⁻⁴ līdz 10⁻⁶ mbar) iztvaikojušo atomu vai molekulu vidējais brīvais ceļš ievērojami palielinās līdz vairākiem metriem, ļaujot tiem pārvietoties tieši no avota līdz substrātam. Tas ļauj precīzi kontrolēt plēves biezumu, vienmērīgumu un sastāvu.
Turklāt augsta vakuuma vide novērš oksidēšanos un piesārņojumu. Lielākā daļa metālu (piemēram, alumīnijs, hroms) un savienojumu ir ļoti reaģējoši iztvaikošanas temperatūrās. Reaktīvo gāzu, piemēram, skābekļa un ūdens tvaiku, gandrīz pilnīga eliminācija nodrošina materiālu nogulsnēšanos to tīrā, metāliskā stāvoklī, kas ir ļoti svarīgi, lai sasniegtu specifiskas optiskās, elektriskās vai mehāniskās īpašības galīgajā pārklājumā. Šī vide nodrošina arī atomāri tīru substrāta virsmu, desorbējot piesārņotājus, kas ir svarīgi spēcīgai plēves saķerei.
Vakuumsūkņa sistēma darbojas kā vides inženieris. Tai ir ātri jānodrošina nepieciešamais bāzes spiediens, dinamiski jāuztur stabilitāte, novadot gāzes no materiāliem un armatūras, un jātiek galā ar blakusproduktiem reaktīvajos procesos. Šī stabilitāte ir ļoti svarīga, lai nodrošinātu nemainīgu ražošanas kvalitāti no partijas uz partiju.
Kritiskā filtrācijas nepieciešamība rodas, lai aizsargātu šo precīzo sistēmu. Pats pārklāšanas process var radīt smalkas daļiņas, izšļakstītus pilienus vai kondensējamus tvaikus. Bez pienācīgasieplūdes filtrs, šie piesārņotāji var nonākt atpakaļ vakuumsūknī. Tas izraisa palielinātu rotoru un lāpstiņu nodilumu, sūkņa eļļas piesārņojumu (eļļas blīvējuma sistēmās) un pakāpenisku sūknēšanas ātruma un galīgā vakuuma samazināšanos. Galu galā tas apdraud procesa stabilitāti, saīsina sūkņa kalpošanas laiku un palielina apkopes izmaksas. Tāpēc atbilstošu filtru, piemēram, daļiņu filtru, molekulāro slazdu vai aukstuma slazdu, uzstādīšana nav izvēles iespēja, bet gan svarīgs ieguldījums vakuumsūkņa aizsardzībā, nodrošinot nemainīgu pārklājuma kvalitāti un ražošanas darbības laiku.
Kopumā vakuuma sūkņi nodrošina iztvaikošanas pārklājumu, nodrošinot tīru, nepiesārņotu un kontrolētu vidi materiālu transportēšanai un plēves veidošanai. Šīs iespējas apvienošana ar stabilu filtrācijas stratēģiju ir būtiska, lai panāktu uzticamu, augstas veiktspējas un ekonomisku plānplēves ražošanu.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 25. decembris
