Pusvadītāju tehnoloģija kalpo par mūsdienu rūpniecības pamatu, nodrošinot precīzu vadību un signālu pārraidi dažādās lietojumprogrammās, sākot no elektroniskām ierīcēm un sakaru sistēmām līdz mākslīgajam intelektam un jaunām enerģētikas nozarēm. Starp dažādiem pusvadītāju materiāliem monokristāla silīcijs ieņem neaizstājamu vietu, un tā tīrība tieši nosaka ierīces veiktspēju un enerģijas pārveidošanas efektivitāti.
Monokristāla silīcija ražošanai nepieciešama specializēta vide, kas plašāk pazīstama kā kristālu vilkšanas procesi. Vakuuma tehnoloģijai ir izšķiroša nozīme gaisa un piemaisījumu atdalīšanā, nodrošinot īpaši tīru vidi silīcija kristālu augšanai. Lai uzturētu vakuuma kameras tīrību un aizsargātu vakuuma sūkni, jāizvēlas profesionāls.vakuuma sūkņa putekļu filtrs.
Vakuumsūkņa putekļu filtru kritiskā loma pusvadītāju rūpniecībā
Vakuumsūkņa putekļu filtridarbojas kā būtiskas barjeras, nodrošinot vakuuma sistēmu stabilu darbību. Tās efektīvi aiztur putekļu daļiņas, kas citādi iekļūtu vakuumsūknī, novēršot mehānisku nodilumu un eļļas ķēdes aizsprostojumus. Pusvadītāju ražošanas vidē pat submikrona daļiņas var izraisīt režģa defektus, kas ietekmē mikroshēmas veiktspēju un ražas rādītājus.
Galvenie apsvērumi filtru izvēlē pusvadītāju rūpniecībā
1. Filtrēšanas precizitāteAtbilstoši procesa prasībām jāizvēlas atbilstoši filtrācijas līmeņi, parasti nepieciešama 0,1 mikrona vai labāka filtrācijas precizitāte.
2. Materiālu saderībaFiltra materiāliem jābūt saderīgiem ar procesa gāzēm un vakuuma vidi, parasti tas prasa nerūsējošo tēraudu vai īpašus sakausējumus.
3. Putekļu noturēšanas spējaSaglabājot filtrācijas precizitāti, ir nepieciešama pietiekama putekļu aiztures spēja, lai pagarinātu kalpošanas laiku.
4. Spiediena krituma raksturlielumi: Gan sākotnējie, gan galīgie spiediena kritumi jākontrolē saprātīgās robežās.
Pusvadītāju rūpniecības filtru īpašās prasības
Pusvadītāju ražošanā vakuuma videi tiek izvirzītas ārkārtīgi augstas prasības:
- Tīrības prasības: uzturēt 10. vai augstākas klases tīru vidi
- Stabilitātes prasības: Ilgstoša stabila vakuuma līmeņa uzturēšana
- Piesārņojuma kontrole: Izvairīšanās no jebkāda iespējama eļļas tvaiku vai daļiņu piesārņojuma
Ieteicamie filtrācijas risinājumi pusvadītāju rūpniecībai
Pusvadītāju rūpniecībai ieteicama daudzpakāpju filtrācijas sistēma:
1.Priekšfiltri:Pārtver lielākas daļiņas, lai aizsargātu sekojošos precīzijas filtrus
2. Galvenie filtriIzmantojiet augstas efektivitātes filtrācijas materiālus, lai nodrošinātu nepieciešamo precizitāti
3. Ķīmiskie filtri (pēc nepieciešamības): Noņemiet potenciālos gāzveida piesārņotājus
Izvēloties atbilstošuvakuuma sūkņa filtrine tikai pagarina iekārtu kalpošanas laiku, bet arī nodrošina procesa stabilitāti un produktu ražas rādītājus, nodrošinot uzticamu aizsardzību liela mēroga nepārtrauktai ražošanai pusvadītāju rūpniecībā.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 26. augusts
