നേർത്ത ഫിലിം നിക്ഷേപത്തിന്റെ സങ്കീർണ്ണമായ ലോകത്ത്, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയും സാന്ദ്രവുമായ ആവരണങ്ങൾ സൃഷ്ടിക്കാനുള്ള കഴിവ് ഇലക്ട്രോൺ ബീം (ഇ-ബീം) ബാഷ്പീകരണത്തിന് വേറിട്ടുനിൽക്കുന്നു. ഈ സാങ്കേതികവിദ്യയെ ചുറ്റിപ്പറ്റിയുള്ള ഒരു അടിസ്ഥാന ചോദ്യം ഇതിന് ഒരു വാക്വം പമ്പ് ആവശ്യമുണ്ടോ എന്നതാണ്. ഉത്തരം തീർച്ചയായും അതെ എന്നാണ്. ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള ഒരു വാക്വം സിസ്റ്റം വെറുമൊരു അനുബന്ധം മാത്രമല്ല, പ്രക്രിയ ഫലപ്രദമായും കാര്യക്ഷമമായും പ്രവർത്തിക്കുന്നതിന് ഒരു മുൻവ്യവസ്ഥയാണ്.
ഇ-ബീം ബാഷ്പീകരണത്തിന്റെ കാമ്പ്, വെള്ളം കൊണ്ട് തണുപ്പിച്ച ക്രൂസിബിളിൽ അടങ്ങിയിരിക്കുന്ന ഒരു ഉറവിട വസ്തുവിൽ (സ്വർണ്ണം, സിലിക്കൺ ഓക്സൈഡ് അല്ലെങ്കിൽ അലുമിനിയം പോലുള്ളവ) ഉയർന്ന ഊർജ്ജമുള്ള ഇലക്ട്രോൺ ബീം ഫോക്കസ് ചെയ്യുന്നതാണ്. തീവ്രമായ പ്രാദേശിക ചൂടാക്കൽ മെറ്റീരിയൽ ഉരുകാനും ബാഷ്പീകരിക്കാനും കാരണമാകുന്നു. ഈ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട ആറ്റങ്ങൾ പിന്നീട് ഒരു ലൈൻ-ഓഫ്-സൈറ്റ് പാതയിൽ സഞ്ചരിക്കുകയും ഒരു അടിവസ്ത്രത്തിൽ ഘനീഭവിക്കുകയും ഒരു നേർത്ത ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു. ഈ മുഴുവൻ ശ്രേണിയും ഒരു ഉയർന്ന വാക്വം പരിതസ്ഥിതിയെ നിർണായകമായി ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു, സാധാരണയായി 10⁻³ Pa മുതൽ 10⁻⁶ Pa വരെയുള്ള പരിധിക്കുള്ളിൽ.
അത്തരമൊരു തീവ്രമായ വാക്വം അനിവാര്യത മൂന്നിരട്ടിയാണ്. ഒന്നാമതായി, ഇലക്ട്രോൺ ബീമിന്റെ തടസ്സമില്ലാത്ത യാത്ര ഇത് ഉറപ്പാക്കുന്നു. വളരെയധികം വാതക തന്മാത്രകളുടെ സാന്നിധ്യത്തിൽ, ഇലക്ട്രോണുകൾ ചിതറുകയും കൂട്ടിയിടിക്കുകയും ചെയ്യും, അവയുടെ ഊർജ്ജം നഷ്ടപ്പെടുകയും ലക്ഷ്യത്തിലേക്ക് സാന്ദ്രീകൃത താപം എത്തിക്കുന്നതിൽ പരാജയപ്പെടുകയും ചെയ്യും. ബീം ഫോക്കസ് നീക്കം ചെയ്യും, ഇത് പ്രക്രിയയെ ഫലപ്രദമല്ലാതാക്കും.
രണ്ടാമതായി, ഏറ്റവും നിർണായകമായി, വാക്വം പരിസ്ഥിതി നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമിന്റെ പരിശുദ്ധിയും ഗുണനിലവാരവും ഉറപ്പ് നൽകുന്നു. അതില്ലെങ്കിൽ, ഓക്സിജൻ, ജലബാഷ്പം തുടങ്ങിയ അവശിഷ്ട വാതകങ്ങൾ കോട്ടിംഗിനെ രണ്ട് വിനാശകരമായ രീതികളിൽ മലിനമാക്കും: അവ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട വസ്തുക്കളുമായി രാസപരമായി പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് അനാവശ്യ ഓക്സൈഡുകൾ രൂപപ്പെടുത്തുകയും അവ വളരുന്ന ഫിലിമിൽ മാലിന്യങ്ങളായി സംയോജിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യും. ഇത് സുഷിരങ്ങളുള്ളതും, പശ കുറഞ്ഞതും, താഴ്ന്ന മെക്കാനിക്കൽ, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗുണങ്ങളുള്ളതുമായ ഒരു ഫിലിമിന് കാരണമാകുന്നു. ഉയർന്ന വാക്വം ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട ആറ്റങ്ങൾക്ക് വൃത്തിയുള്ളതും "ബാലിസ്റ്റിക്" പാതയും സൃഷ്ടിക്കുന്നു, ഇത് അവയെ സാന്ദ്രവും, ഏകീകൃതവും, ഉയർന്ന സമഗ്രതയുമുള്ള ഒരു പാളിയിലേക്ക് ഘനീഭവിപ്പിക്കാൻ അനുവദിക്കുന്നു.
ഒടുവിൽ, വാക്വം ഇലക്ട്രോൺ തോക്കിന്റെ ഫിലമെന്റിനെ സംരക്ഷിക്കുന്നു. ഇലക്ട്രോണുകൾ പുറപ്പെടുവിക്കുന്ന തെർമിയോണിക് കാഥോഡ് വളരെ ഉയർന്ന താപനിലയിൽ പ്രവർത്തിക്കുന്നു, വായുവുമായി സമ്പർക്കത്തിൽ വന്നാൽ തൽക്ഷണം ഓക്സീകരിക്കപ്പെടുകയും കത്തുകയും ചെയ്യും.
അതുകൊണ്ട്, റഫിംഗ് പമ്പുകളും ടർബോമോളിക്യുലാർ അല്ലെങ്കിൽ ഡിഫ്യൂഷൻ പമ്പുകൾ പോലുള്ള ഉയർന്ന വാക്വം പമ്പുകളും സംയോജിപ്പിക്കുന്ന ഒരു സങ്കീർണ്ണമായ പമ്പിംഗ് സംവിധാനം അനിവാര്യമാണ്. ഉപസംഹാരമായി, വാക്വം പമ്പ് ഇലക്ട്രോൺ ബീം ബാഷ്പീകരണം പ്രാപ്തമാക്കുക മാത്രമല്ല ചെയ്യുന്നത്; അത് അതിനെ നിർവചിക്കുകയും, അർദ്ധചാലകങ്ങൾ മുതൽ ഒപ്റ്റിക്സ് വരെയുള്ള വ്യവസായങ്ങൾ ആവശ്യപ്പെടുന്ന ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള കോട്ടിംഗുകൾ ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കുന്നതിന് അത്യാവശ്യമായ ഒരു അഭേദ്യമായ ബോണ്ട് രൂപപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.ഫിൽട്ടറുകൾവാക്വം പമ്പുകൾ ഇല്ലെങ്കിൽ, അവയെ സംരക്ഷിക്കാൻ,ഞങ്ങളെ സമീപിക്കുക.
പോസ്റ്റ് സമയം: നവംബർ-12-2025
