Нимгэн хальсан хуримтлалын боловсронгуй ертөнцөд электрон цацраг (цахим цацраг) ууршилт нь өндөр цэвэршилттэй, нягт бүрхүүл үүсгэх чадвараараа ялгардаг. Энэ технологийг тойрсон үндсэн асуулт бол вакуум насос шаардлагатай эсэх юм. Хариулт нь хоёрдмол утгагүй тийм. Өндөр хүчин чадалтай вакуум систем нь зөвхөн дагалдах хэрэгсэл биш, харин процессыг үр дүнтэй, үр дүнтэй ажиллуулах үнэмлэхүй урьдчилсан нөхцөл юм.
Цахим цацрагийн ууршилтын гол цөм нь усны хөргөлттэй тигелд агуулагдах эх материал (алт, цахиурын исэл, хөнгөн цагаан гэх мэт) дээр өндөр энергитэй электрон цацрагийг төвлөрүүлэх явдал юм. Орон нутгийн хүчтэй халаалт нь материалыг хайлж, ууршуулдаг. Дараа нь эдгээр ууршсан атомууд нь харааны шугамаар хөдөлж, субстрат дээр конденсацлаж, нимгэн хальс үүсгэдэг. Энэ бүх дараалал нь ихэвчлэн 10⁻³ Па-аас 10⁻⁶ Па хүртэлх өндөр вакуум орчинд ихээхэн хамааралтай байдаг.
Ийм туйлын вакуум хэрэгцээ нь гурав дахин их юм. Нэгдүгээрт, энэ нь электрон цацрагийн саадгүй хөдөлгөөнийг баталгаажуулдаг. Хэт их хийн молекул байгаа үед электронууд тархаж, мөргөлдөж, эрчим хүчээ алдаж, төвлөрсөн дулааныг зорилтот газарт хүргэж чадахгүй. Цацрагийн төвлөрлийг сааруулж, үйл явцыг үр дүнгүй болгоно.
Хоёрдугаарт, хамгийн чухал нь вакуум орчин нь хадгалсан хальсны цэвэр байдал, чанарыг баталгаажуулдаг. Үүнгүйгээр хүчилтөрөгч, усны уур зэрэг үлдэгдэл хий нь бүрээсийг хоёр хор хөнөөлтэй аргаар бохирдуулах болно: тэдгээр нь ууршсан материалтай химийн урвалд орж, хүсээгүй исэл үүсгэж, өсөн нэмэгдэж буй хальсанд хольц хэлбэрээр нэгдэх болно. Үүний үр дүнд сүвэрхэг, наалдамхай чанар багатай, механик болон оптик шинж чанар муутай хальс үүсдэг. Өндөр вакуум нь ууршсан атомуудад цэвэр, "баллистик" замыг бий болгож, нягт, жигд, өндөр бүрэн бүтэн давхарга болж өтгөрүүлэх боломжийг олгодог.
Эцэст нь вакуум нь электрон бууны утасыг хамгаалдаг. Электрон ялгаруулдаг термионик катод нь маш өндөр температурт ажилладаг бөгөөд агаарт өртөхөд бараг тэр даруй исэлдэж, шатдаг.
Иймээс барзгар шахуурга, турбомолекул эсвэл диффузийн насос зэрэг өндөр вакуум насосыг хослуулсан нарийн төвөгтэй шахуургын систем зайлшгүй шаардлагатай. Дүгнэж хэлэхэд, вакуум насос нь зөвхөн электрон цацрагийн ууршилтыг идэвхжүүлдэггүй; энэ нь хагас дамжуулагчаас эхлээд оптик хүртэлх салбаруудын эрэлт хэрэгцээтэй өндөр гүйцэтгэлтэй бүрээсийг үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай салшгүй холбоог бүрдүүлдэг. Бас байх ёстойшүүлтүүрүүдвакуум насосыг хамгаалах, хэрэв байхгүй бол,бидэнтэй холбоо барина уу.
Шуудангийн цаг: 2025-11-12
