इलेक्ट्रॉन बीम बाष्पीभवन आणि व्हॅक्यूम पंप

अशा अतिरेकी व्हॅक्यूमची आवश्यकता तिप्पट आहे. पहिले, ते इलेक्ट्रॉन बीमचा अबाधित प्रवास सुनिश्चित करते. जास्त वायू रेणूंच्या उपस्थितीत, इलेक्ट्रॉन विखुरतील आणि आदळतील, त्यांची ऊर्जा गमावतील आणि लक्ष्यापर्यंत केंद्रित उष्णता पोहोचवू शकणार नाहीत. बीम डीफोकस होईल, ज्यामुळे प्रक्रिया अप्रभावी होईल.

दुसरे म्हणजे, आणि सर्वात महत्त्वाचे म्हणजे, व्हॅक्यूम वातावरण जमा झालेल्या फिल्मची शुद्धता आणि गुणवत्ता हमी देते. त्याशिवाय, ऑक्सिजन आणि पाण्याची वाफ यांसारखे अवशिष्ट वायू दोन विनाशकारी मार्गांनी लेप दूषित करतील: ते बाष्पीभवन झालेल्या पदार्थाशी रासायनिक प्रतिक्रिया देऊन अवांछित ऑक्साइड तयार करतील आणि ते वाढत्या फिल्ममध्ये अशुद्धतेच्या रूपात समाविष्ट होतील. यामुळे एक फिल्म तयार होते जी सच्छिद्र, कमी चिकट आणि निकृष्ट यांत्रिक आणि ऑप्टिकल गुणधर्म असलेली असते. उच्च व्हॅक्यूम बाष्पीभवन झालेल्या अणूंसाठी एक स्वच्छ, "बॅलिस्टिक" मार्ग तयार करते, ज्यामुळे ते दाट, एकसमान आणि उच्च-अखंडतेच्या थरात घनरूप होऊ शकतात.

शेवटी, व्हॅक्यूम इलेक्ट्रॉन गनच्या फिलामेंटचे संरक्षण करतो. इलेक्ट्रॉन उत्सर्जित करणारा थर्मिओनिक कॅथोड अत्यंत उच्च तापमानावर कार्य करतो आणि हवेच्या संपर्कात आल्यास ते जवळजवळ त्वरित ऑक्सिडाइझ होते आणि जळून जाते.