Apakah Salutan Vakum?
Salutan vakum ialah teknologi canggih yang mendepositkan filem nipis berfungsi pada permukaan substrat melalui kaedah fizikal atau kimia dalam persekitaran vakum. Nilai terasnya terletak pada ketulenan tinggi, ketepatan tinggi dan perlindungan alam sekitar, dan digunakan secara meluas dalam optik, elektronik, alat, tenaga baharu dan bidang lain.
Adakah sistem salutan vakum perlu dilengkapi dengan penapis salur masuk?
Pertama, mari kita pelajari apakah bahan pencemar biasa dalam salutan vakum. Contohnya, zarah, habuk, wap minyak, wap air, dsb. Bahan pencemar ini memasuki ruang salutan akan menyebabkan kadar pemendapan berkurangan, lapisan filem tidak sekata, malah merosakkan peralatan.
Keadaan di mana salutan vakum memerlukan penapis masuk
- Semasa proses salutan, bahan sasaran memercikkan zarah.
- Keperluan ketulenan lapisan filem adalah tinggi, terutamanya dalam bidang optik dan semikonduktor.
- Terdapat gas menghakis (mudah dihasilkan dalam sputtering reaktif). Dalam kes ini, penapis dipasang terutamanya untuk melindungi pam vakum.
Keadaan di mana salutan vakum tidak memerlukan penapis masuk
- Banyak penyedia perkhidmatan salutan vakum menggunakan sistem vakum tinggi bebas minyak sepenuhnya (seperti pam molekul + pam ion), dan persekitaran kerja adalah bersih. Oleh itu, tidak ada keperluan untuk penapis masuk, malah penapis ekzos.
- Terdapat satu lagi keadaan di mana penapis masuk tidak diperlukan, iaitu, keperluan ketulenan lapisan filem tidak tinggi, seperti untuk beberapa salutan hiasan.
Lain-lain tentang pam resapan minyak
- Jika pam minyak atau pam resapan minyak digunakan,penapis ekzosmesti dipasang.
- Unsur penapis polimer tidak tahan terhadap suhu tinggi pam resapan
- Apabila menggunakan pam resapan minyak, minyak pam mungkin mengalir kembali dan mencemarkan ruang salutan. Oleh itu, ia memerlukan perangkap sejuk atau penyekat minyak untuk mengelakkan kemalangan.
Kesimpulannya, sama ada sistem salutan vakum perlupenapis salur masukbergantung kepada keperluan proses, reka bentuk sistem dan risiko pencemaran.
Masa siaran: Apr-19-2025
