Dalam dunia pemendapan filem nipis yang canggih, penyejatan rasuk elektron (e-beam) menyerlah kerana keupayaannya untuk mencipta salutan padat ketulenan tinggi. Persoalan asas mengenai teknologi ini ialah sama ada ia memerlukan pam vakum. Jawapannya adalah ya yang jelas. Sistem vakum berprestasi tinggi bukan sekadar aksesori tetapi prasyarat mutlak untuk proses berfungsi dengan berkesan dan cekap.
Teras penyejatan e-beam melibatkan pemfokusan rasuk elektron bertenaga tinggi pada bahan sumber (seperti emas, silikon oksida atau aluminium) yang terkandung dalam mangkuk pijar yang disejukkan dengan air. Pemanasan tempatan yang sengit menyebabkan bahan cair dan menguap. Atom-atom terwap ini kemudiannya bergerak dalam laluan garis pandang dan terpeluwap pada substrat, membentuk filem nipis. Keseluruhan jujukan ini sangat bergantung pada persekitaran vakum tinggi, biasanya dalam julat 10⁻³ Pa hingga 10⁻⁶ Pa.
Keperluan untuk vakum yang melampau adalah tiga kali ganda. Pertama, ia memastikan perjalanan rasuk elektron tanpa halangan. Dengan kehadiran terlalu banyak molekul gas, elektron akan bertaburan dan berlanggar, kehilangan tenaga mereka dan gagal menghantar haba pekat ke sasaran. Rasuk akan nyahfokus, menyebabkan proses tidak berkesan.
Kedua, dan yang paling penting, persekitaran vakum menjamin ketulenan dan kualiti filem yang didepositkan. Tanpanya, gas sisa seperti oksigen dan wap air akan mencemarkan salutan dalam dua cara yang memusnahkan: ia akan bertindak balas secara kimia dengan bahan terwap untuk membentuk oksida yang tidak diingini, dan ia akan dimasukkan ke dalam filem yang semakin meningkat sebagai bendasing. Ini menghasilkan filem yang berliang, kurang pelekat, dan mempunyai sifat mekanikal dan optik yang lebih rendah. Vakum yang tinggi mencipta laluan "balistik" yang bersih untuk atom yang terwap, membolehkannya terpeluwap menjadi lapisan yang padat, seragam dan berintegriti tinggi.
Akhirnya, vakum melindungi filamen pistol elektron. Katod termionik yang mengeluarkan elektron beroperasi pada suhu yang sangat tinggi dan akan teroksida dan terbakar hampir serta-merta jika terdedah kepada udara.
Oleh itu, sistem pengepaman yang canggih—menggabungkan pam kasar dan pam vakum tinggi seperti pam turbomolekul atau resapan—amat diperlukan. Kesimpulannya, pam vakum bukan sahaja membolehkan penyejatan rasuk elektron; ia mentakrifkannya, membentuk ikatan yang tidak boleh dipecahkan yang penting untuk menghasilkan salutan berprestasi tinggi yang dituntut oleh industri daripada semikonduktor kepada optik. Harus ada jugapenapisuntuk melindungi pam vakum, jika tiada,hubungi kami.
Masa siaran: Nov-12-2025
