X'inhu l-Kisi bil-Vakwu?
Il-kisi bil-vakwu huwa teknoloġija avvanzata li tiddepożita films irqaq funzjonali fuq il-wiċċ ta' sottostrati permezz ta' metodi fiżiċi jew kimiċi f'ambjent bil-vakwu. Il-valur ewlieni tagħha jinsab f'purità għolja, preċiżjoni għolja u protezzjoni ambjentali, u tintuża ħafna fl-ottika, l-elettronika, l-għodda, l-enerġija ġdida u oqsma oħra.
Is-sistema ta' kisi bil-vakwu teħtieġ li tkun mgħammra b'filtri tad-dħul?
L-ewwelnett, ejja nitgħallmu x'inhuma l-inkwinanti komuni fil-kisi bil-vakwu. Pereżempju, partiċelli, trab, fwar taż-żejt, fwar tal-ilma, eċċ. Dawn l-inkwinanti li jidħlu fil-kompartiment tal-kisi jikkawżaw li r-rata ta' depożizzjoni tonqos, li s-saff tal-film ikun irregolari, u saħansitra jagħmel ħsara lit-tagħmir.
Is-sitwazzjoni fejn il-kisi bil-vakwu jeħtieġ filtri tad-dħul
- Matul il-proċess tal-kisi, il-materjal fil-mira jitfa' partiċelli.
- Ir-rekwiżit tal-purità tas-saff tal-film huwa għoli, speċjalment fl-oqsma tal-ottika u s-semikondutturi.
- Hemm gassijiet korrużivi (li jiġu prodotti faċilment waqt sputtering reattiv). F'dan il-każ, il-filtru jiġi installat prinċipalment biex jipproteġi l-pompa tal-vakwu.
Is-sitwazzjoni fejn il-kisi bil-vakwu ma jeħtieġx filtri tad-dħul
- Ħafna fornituri ta' servizzi ta' kisi bil-vakwu jużaw sistema ta' vakwu għoli kompletament ħielsa miż-żejt (bħal pompa molekulari + pompa tal-jone), u l-ambjent tax-xogħol huwa nadif. Għalhekk, m'hemmx bżonn ta' filtri tad-dħul, jew saħansitra filtri tal-egżost.
- Hemm sitwazzjoni oħra fejn il-filtri tad-dħul mhumiex meħtieġa, jiġifieri, ir-rekwiżit tal-purità tas-saff tal-film mhuwiex għoli, bħal għal xi kisi dekorattiv.
Oħrajn dwar il-pompa tad-diffużjoni taż-żejt
- Jekk tintuża pompa taż-żejt jew pompa tad-diffużjoni taż-żejt,filtru tal-egżostirid jiġi installat.
- L-element tal-filtru tal-polimeru mhuwiex reżistenti għat-temperatura għolja tal-pompa tad-diffużjoni
- Meta tintuża pompa tad-diffużjoni taż-żejt, iż-żejt tal-pompa jista' jiċċirkola lura u jikkontamina l-kompartiment tal-kisi. Għalhekk, teħtieġ nassa kiesħa jew deflettur taż-żejt biex tevita l-inċident.
Bħala konklużjoni, jekk is-sistema ta' kisi bil-vakwu teħtieġxfiltri tad-dħuljiddependi fuq ir-rekwiżiti tal-proċess, id-disinn tas-sistema u r-riskju ta' kontaminazzjoni.
Ħin tal-posta: 19 ta' April 2025
