पातलो-फिल्म निक्षेपणको परिष्कृत संसारमा, इलेक्ट्रोन बीम (ई-बीम) वाष्पीकरण उच्च-शुद्धता, बाक्लो कोटिंगहरू सिर्जना गर्ने क्षमताको लागि फरक छ। यस प्रविधिको वरिपरि एउटा आधारभूत प्रश्न यो हो कि यसलाई भ्याकुम पम्प चाहिन्छ कि पर्दैन। उत्तर एक स्पष्ट हो हो। उच्च-प्रदर्शन भ्याकुम प्रणाली केवल एक सहायक मात्र होइन तर प्रक्रियालाई प्रभावकारी र कुशलतापूर्वक काम गर्नको लागि एक पूर्ण पूर्वशर्त हो।
ई-बीम वाष्पीकरणको मूलमा पानी-चिसो क्रुसिबलमा रहेको स्रोत सामग्री (जस्तै सुन, सिलिकन अक्साइड, वा एल्युमिनियम) मा उच्च-ऊर्जा इलेक्ट्रोन बीम केन्द्रित गर्नु समावेश छ। तीव्र स्थानीय तापले सामग्रीलाई पग्लन्छ र वाष्पीकरण गर्छ। यी वाष्पीकृत परमाणुहरू त्यसपछि दृश्य रेखामा यात्रा गर्छन् र सब्सट्रेटमा गाढा हुन्छन्, पातलो फिल्म बनाउँछन्। यो सम्पूर्ण अनुक्रम उच्च-भ्याकुम वातावरणमा आलोचनात्मक रूपमा निर्भर गर्दछ, सामान्यतया 10⁻³ Pa देखि 10⁻⁶ Pa को दायरा भित्र।
यस्तो चरम भ्याकुमको आवश्यकता तीन गुणा बढी हुन्छ। पहिलो, यसले इलेक्ट्रोन बीमको अवरोधरहित यात्रा सुनिश्चित गर्दछ। धेरै ग्यास अणुहरूको उपस्थितिमा, इलेक्ट्रोनहरू छरिएर ठोक्किनेछन्, आफ्नो ऊर्जा गुमाउनेछन् र लक्षितमा केन्द्रित ताप पुर्याउन असफल हुनेछन्। बीमले फोकस घटाउनेछ, जसले गर्दा प्रक्रिया अप्रभावी हुनेछ।
दोस्रो, र सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण कुरा, भ्याकुम वातावरणले जम्मा गरिएको फिल्मको शुद्धता र गुणस्तरको ग्यारेन्टी दिन्छ। यो बिना, अक्सिजन र पानीको वाष्प जस्ता अवशिष्ट ग्यासहरूले कोटिंगलाई दुई विनाशकारी तरिकाले दूषित गर्नेछन्: तिनीहरूले रासायनिक रूपमा वाष्पीकृत सामग्रीसँग प्रतिक्रिया गरेर अनावश्यक अक्साइडहरू बनाउनेछन्, र तिनीहरू अशुद्धताको रूपमा बढ्दो फिल्ममा समावेश हुनेछन्। यसले गर्दा एउटा फिल्म बन्नेछ जुन छिद्रपूर्ण, कम टाँसिने, र निम्न मेकानिकल र अप्टिकल गुणहरू भएको हुन्छ। उच्च भ्याकुमले वाष्पीकृत परमाणुहरूको लागि सफा, "ब्यालिस्टिक" मार्ग सिर्जना गर्दछ, जसले तिनीहरूलाई बाक्लो, एकसमान र उच्च-अखण्डता तहमा संकुचित हुन अनुमति दिन्छ।
अन्तमा, भ्याकुमले इलेक्ट्रोन गनको फिलामेन्टलाई सुरक्षित राख्छ। इलेक्ट्रोन उत्सर्जन गर्ने थर्मियोनिक क्याथोड अत्यन्त उच्च तापक्रममा सञ्चालन हुन्छ र हावाको सम्पर्कमा आएमा लगभग तुरुन्तै अक्सिडाइज हुन्छ र जल्छ।
त्यसकारण, एक परिष्कृत पम्पिङ प्रणाली - रफिङ पम्पहरू र टर्बोमोलेकुलर वा डिफ्यूजन पम्पहरू जस्ता उच्च-भ्याकुम पम्पहरू संयोजन गर्दै - अपरिहार्य छ। निष्कर्षमा, भ्याकुम पम्पले इलेक्ट्रोन बीम वाष्पीकरणलाई मात्र सक्षम गर्दैन; यसले यसलाई परिभाषित गर्दछ, एक अटूट बन्धन बनाउँछ जुन अर्धचालकदेखि अप्टिक्ससम्म उद्योगहरूले माग गर्ने उच्च-प्रदर्शन कोटिंगहरू उत्पादन गर्न आवश्यक छ। त्यहाँ पनि हुनुपर्छफिल्टरहरूभ्याकुम पम्पहरू नभएको खण्डमा सुरक्षित गर्न,हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।
पोस्ट समय: नोभेम्बर-१२-२०२५
