Wat is vacuümcoating?
Vacuümcoating is een geavanceerde technologie die functionele dunne films op het oppervlak van substraten afzet door middel van fysische of chemische methoden in een vacuümomgeving. De kernwaarden ervan liggen in hoge zuiverheid, hoge precisie en milieubescherming, en worden veel gebruikt in optica, elektronica, gereedschappen, nieuwe energie en andere sectoren.
Moet het vacuümcoatingsysteem worden uitgerust met inlaatfilters?
Laten we eerst eens kijken wat de meest voorkomende verontreinigende stoffen zijn bij vacuümcoaten. Bijvoorbeeld deeltjes, stof, oliedamp, waterdamp, enz. Deze verontreinigende stoffen die de coatingkamer binnendringen, zorgen ervoor dat de afzettingssnelheid afneemt, de filmlaag ongelijkmatig wordt en zelfs de apparatuur beschadigt.
De situatie waarbij vacuümcoating inlaatfilters vereist
- Tijdens het coatingproces spatten er deeltjes van het doelmateriaal af.
- De zuiverheidseisen van de filmlaag zijn hoog, vooral op het gebied van optica en halfgeleiders.
- Er zijn corrosieve gassen (die gemakkelijk ontstaan bij reactief sputteren). In dit geval wordt het filter voornamelijk geïnstalleerd om de vacuümpomp te beschermen.
De situatie waarbij vacuümcoating geen inlaatfilters nodig heeft
- Veel aanbieders van vacuümcoating gebruiken een volledig olievrij hoogvacuümsysteem (zoals een moleculaire pomp + ionenpomp), waardoor de werkomgeving schoon is. Daarom zijn er geen inlaatfilters of zelfs uitlaatfilters nodig.
- Er is nog een situatie waarin inlaatfilters niet nodig zijn, dat wil zeggen, wanneer de zuiverheidseisen van de filmlaag niet hoog zijn, zoals bij sommige decoratieve coatings.
Anderen over oliediffusiepomp
- Indien er gebruik wordt gemaakt van een oliepomp of oliediffusiepomp,uitlaatfiltermoet geïnstalleerd zijn.
- Polymeerfilterelement is niet bestand tegen de hoge temperatuur van de diffusiepomp
- Bij gebruik van een oliediffusiepomp kan de olie uit de pomp terugstromen en de coatingkamer verontreinigen. Daarom is een koudeval of oliekeerschot nodig om dit te voorkomen.
Concluderend kan worden gesteld of het vacuümcoatingsysteem nodig isinlaatfiltershangt af van de procesvereisten, het systeemontwerp en het besmettingsrisico.
Plaatsingstijd: 19-04-2025
