Hva er vakuumbelegg?
Vakuumbelegg er en avansert teknologi som avsetter funksjonelle tynne filmer på overflaten av substrater gjennom fysiske eller kjemiske metoder i et vakuummiljø. Kjerneverdien ligger i høy renhet, høy presisjon og miljøvern, og er mye brukt innen optikk, elektronikk, verktøy, ny energi og andre felt.
Må vakuumbeleggsystemet være utstyrt med innløpsfiltre?
La oss først se på de vanlige forurensningene i vakuumbelegg. For eksempel partikler, støv, oljedamp, vanndamp osv. Disse forurensningene som kommer inn i beleggkammeret, vil føre til at avsetningshastigheten reduseres, filmlaget blir ujevnt og til og med skader utstyret.
Situasjonen der vakuumbelegg krever innløpsfiltre
- Under belegningsprosessen spruter målmaterialet partikler.
- Renhetskravet til filmlaget er høyt, spesielt innen optikk og halvledere.
- Det finnes etsende gasser (som lett produseres ved reaktiv sputtering). I dette tilfellet er filteret hovedsakelig installert for å beskytte vakuumpumpen.
Situasjonen der vakuumbelegg ikke krever innløpsfiltre
- Mange leverandører av vakuumbeleggstjenester bruker et helt oljefritt høyvakuumsystem (som molekylærpumpe + ionpumpe), og arbeidsmiljøet er rent. Derfor er det ikke behov for innløpsfiltre eller eksosfiltre.
- Det finnes en annen situasjon der innløpsfiltre ikke er nødvendige, det vil si at renhetskravet til filmlaget ikke er høyt, for eksempel for noen dekorative belegg.
Andre om oljediffusjonspumpe
- Hvis det brukes en oljepumpe eller oljediffusjonspumpe,eksosfiltermå installeres.
- Polymerfilterelementet er ikke motstandsdyktig mot høy temperatur i diffusjonspumpen
- Når man bruker en oljediffusjonspumpe, kan pumpeoljen renne tilbake og forurense beleggkammeret. Derfor er det nødvendig med en kuldefelle eller oljeskjerm for å forhindre ulykken.
Avslutningsvis, om vakuumbeleggsystemet trengerinnløpsfiltreavhenger av prosesskrav, systemdesign og forurensningsrisiko.
Publisert: 19. april 2025
