ପତଳା-ଫିଲ୍ମ ଜମାର ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ଦୁନିଆରେ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ ବିମ୍ (ଇ-ବିମ୍) ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା, ଘନ ଆବରଣ ସୃଷ୍ଟି କରିବାର କ୍ଷମତା ପାଇଁ ସ୍ପଷ୍ଟ। ଏହି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାକୁ ଘେରି ରହିଥିବା ଏକ ମୌଳିକ ପ୍ରଶ୍ନ ହେଉଛି ଯେ ଏହାକୁ ଏକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ଆବଶ୍ୟକ କି ନାହିଁ। ଏହାର ଉତ୍ତର ଏକ ସ୍ପଷ୍ଟ ହଁ। ଏକ ଉଚ୍ଚ-କ୍ଷମତାପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ କେବଳ ଏକ ଆନୁଷଙ୍ଗିକ ନୁହେଁ ବରଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାଟି ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଏବଂ ଦକ୍ଷତାର ସହିତ କାର୍ଯ୍ୟ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ପୂର୍ବାବଶ୍ୟକତା।
ଇ-ବିମ୍ ବାଷ୍ପୀଭବନର ମୂଳ ହେଉଛି ଏକ ଜଳ-ଥଣ୍ଡା କ୍ରୁସିବଲରେ ଥିବା ଏକ ଉତ୍ସ ସାମଗ୍ରୀ (ଯେପରିକି ସୁନା, ସିଲିକନ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍, କିମ୍ବା ଆଲୁମିନିୟମ୍) ଉପରେ ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ବିମ୍ କେନ୍ଦ୍ରିତ କରିବା। ତୀବ୍ର ସ୍ଥାନୀୟ ଉତ୍ତାପ ସାମଗ୍ରୀକୁ ତରଳିବା ଏବଂ ବାଷ୍ପୀଭୂତ କରିଥାଏ। ଏହି ବାଷ୍ପୀଭୃତ ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକ ତା'ପରେ ଏକ ଦୃଷ୍ଟି-ରେଖା ପଥରେ ଯାତ୍ରା କରନ୍ତି ଏବଂ ଏକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଘନୀଭୂତ ହୋଇ ଏକ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଗଠନ କରନ୍ତି। ଏହି ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ କ୍ରମ ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶ ଉପରେ ଗୁରୁତର ଭାବରେ ନିର୍ଭରଶୀଳ, ସାଧାରଣତଃ 10⁻³ Pa ରୁ 10⁻⁶ Pa ପରିସର ମଧ୍ୟରେ।
ଏପରି ଏକ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନର ଆବଶ୍ୟକତା ତିନିଗୁଣ। ପ୍ରଥମତଃ, ଏହା ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ବିମର ଅବାଧିତ ଯାତ୍ରାକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ଅତ୍ୟଧିକ ଗ୍ୟାସ୍ ଅଣୁର ଉପସ୍ଥିତିରେ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ଗୁଡ଼ିକ ବିକ୍ଷିପ୍ତ ହୋଇ ଧକ୍କା ଖାଇବେ, ସେମାନଙ୍କର ଶକ୍ତି ହରାଇବେ ଏବଂ ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳକୁ ଘନୀଭୂତ ତାପ ପହଞ୍ଚାଇବାରେ ବିଫଳ ହେବେ। ବିମ୍ ଡିଫୋକସ୍ କରିବ, ଯାହା ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ଅକାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ କରିବ।
ଦ୍ୱିତୀୟତଃ, ଏବଂ ସବୁଠାରୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ କଥା ହେଉଛି, ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ପରିବେଶ ଜମା ହୋଇଥିବା ଫିଲ୍ମର ଶୁଦ୍ଧତା ଏବଂ ଗୁଣବତ୍ତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ଏହା ବିନା, ଅମ୍ଳଜାନ ଏବଂ ଜଳୀୟବାଷ୍ପ ପରି ଅବଶିଷ୍ଟ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ଦୁଇଟି ବିନାଶକାରୀ ଉପାୟରେ ଆବରଣକୁ ଦୂଷିତ କରିବେ: ସେମାନେ ବାଷ୍ପୀକୃତ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରି ଅନାବଶ୍ୟକ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଗଠନ କରିବେ, ଏବଂ ସେମାନେ ଅଶୁଦ୍ଧତା ଭାବରେ ବଢ଼ୁଥିବା ଫିଲ୍ମରେ ସାମିଲ ହେବେ। ଏହା ଫଳରେ ଏକ ଫିଲ୍ମ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ ଯାହା ଛିଦ୍ରଯୁକ୍ତ, କମ୍ ଆଠାଜନୀୟ ଏବଂ ନିମ୍ନମାନର ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗୁଣଧର୍ମ ଧାରଣ କରିଥାଏ। ଉଚ୍ଚ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ବାଷ୍ପୀକୃତ ପରମାଣୁ ପାଇଁ ଏକ ସଫା, "ବାଲିଷ୍ଟିକ୍" ପଥ ସୃଷ୍ଟି କରେ, ଯାହା ସେମାନଙ୍କୁ ଏକ ଘନ, ସମାନ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଅଖଣ୍ଡତା ସ୍ତରକୁ ଘନୀଭୂତ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ।
ଶେଷରେ, ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ ଗନର ଫିଲାମେଣ୍ଟକୁ ସୁରକ୍ଷା ଦିଏ। ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ ନିର୍ଗତ କରୁଥିବା ଥର୍ମିଓନିକ କ୍ୟାଥୋଡ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ ଏବଂ ବାୟୁ ସମ୍ମୁଖକୁ ଆସିଲେ ପ୍ରାୟ ତୁରନ୍ତ ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ ହୋଇ ଜଳିଯାଏ।
ତେଣୁ, ଏକ ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ପମ୍ପିଂ ସିଷ୍ଟମ - ରଫିଂ ପମ୍ପ ଏବଂ ଟର୍ବୋମୋଲିକୁଲାର କିମ୍ବା ଡିଫ୍ୟୁଜନ ପମ୍ପ ଭଳି ଉଚ୍ଚ-ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପକୁ ମିଶ୍ରଣ କରିବା - ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ। ଶେଷରେ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ କେବଳ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ବିମ୍ ବାଷ୍ପୀଭବନକୁ ସକ୍ଷମ କରେ ନାହିଁ; ଏହା ଏହାକୁ ପରିଭାଷିତ କରେ, ଏକ ଅତୁଟ ବନ୍ଧନ ଗଠନ କରେ ଯାହା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଠାରୁ ଅପ୍ଟିକ୍ସ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଶିଳ୍ପଗୁଡ଼ିକ ଦ୍ୱାରା ଚାହିଦା ହେଉଥିବା ଉଚ୍ଚ-କାର୍ୟ୍ୟକ୍ଷମ ଆବରଣ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ। ସେଠାରେ ମଧ୍ୟ ରହିବା ଉଚିତଫିଲ୍ଟରଗୁଡ଼ିକଯଦି କୌଣସି ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ନାହିଁ, ତେବେ ସେମାନଙ୍କୁ ସୁରକ୍ଷା ଦେବା ପାଇଁ,ଆମ ସହିତ ଯୋଗାଯୋଗ କରନ୍ତୁ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ନଭେମ୍ବର-୧୨-୨୦୨୫
