د پتلي فلم د زیرمو په پیچلې نړۍ کې، د الکترون بیم (ای-بیم) تبخیر د لوړ پاکوالي، ګڼو پوښونو د جوړولو وړتیا لپاره څرګند دی. د دې ټیکنالوژۍ په شاوخوا کې یوه بنسټیزه پوښتنه دا ده چې ایا دا د ویکیوم پمپ ته اړتیا لري. ځواب یې یو واضح هو دی. د لوړ فعالیت ویکیوم سیسټم یوازې یو لوازم نه دی بلکه د پروسې لپاره یو مطلق شرط دی چې په مؤثره او مؤثره توګه کار وکړي.
د ای-بیم تبخیر اصلي برخه د لوړ انرژۍ الکترون بیم په هغه سرچینې موادو (لکه سره زر، سیلیکون اکسایډ، یا المونیم) باندې تمرکز کول دي چې د اوبو په یخ شوي کروسیبل کې شتون لري. د سیمه ایزې شدیدې تودوخې له امله مواد منحل او بخار کیږي. دا بخار شوي اتومونه بیا د لید په کرښه کې سفر کوي او په سبسټریټ کې غلیظ کیږي، چې یو پتلی فلم جوړوي. دا ټوله لړۍ په جدي ډول د لوړ خلا چاپیریال پورې اړه لري، معمولا د 10⁻³ Pa څخه تر 10⁻⁶ Pa پورې.
د داسې سخت خلا اړتیا درې چنده ده. لومړی، دا د الکترون بیم بې خنډه سفر تضمینوي. د ډیرو ګازي مالیکولونو په شتون کې، الکترونونه به خپاره شي او ټکر به وکړي، خپله انرژي به له لاسه ورکړي او هدف ته به متمرکزه تودوخه ونه رسوي. بیم به غیر متمرکز شي، چې پروسه به بې اغیزې کړي.
دوهم، او تر ټولو مهم، د خلا چاپیریال د زیرمه شوي فلم پاکوالی او کیفیت تضمینوي. پرته له دې، پاتې ګازونه لکه اکسیجن او د اوبو بخار به په دوه ویجاړونکو لارو پوښ ککړ کړي: دوی به په کیمیاوي ډول د بخار شوي موادو سره عکس العمل وښيي ترڅو ناغوښتل شوي اکسایډونه جوړ کړي، او دوی به د ناپاکۍ په توګه د ودې فلم کې شامل شي. دا د یو فلم پایله ده چې سوری، لږ چپکونکی، او د ټیټ میخانیکي او نظري ملکیتونه لري. لوړ خلا د بخار شوي اتومونو لپاره یو پاک، "بالیسټیک" لاره رامینځته کوي، دوی ته اجازه ورکوي چې په یوه ګڼ، یونیفورم، او لوړ بشپړتیا طبقه کې راټول شي.
په پای کې، خلا د الکترون ټوپک فلیمینټ ساتي. ترمیونیک کیتوډ چې الکترونونه خپروي په خورا لوړه تودوخه کې کار کوي او که هوا ته ښکاره شي نو تقریبا سمدلاسه به اکسیډیز شي او سوځي.
له همدې امله، د پمپ کولو یو پیچلی سیسټم - د خړپړ پمپونو او لوړ ویکیوم پمپونو لکه ټربو مالیکولر یا خپریدو پمپونو ترکیب - لازمي دی. په پایله کې، ویکیوم پمپ یوازې د الکترون بیم تبخیر فعال نه کوي؛ دا تعریفوي، دا تعریفوي، یو نه ماتیدونکی بانډ جوړوي چې د سیمیکمډکټرونو څخه تر آپټیکس پورې د صنعتونو لخوا غوښتل شوي لوړ فعالیت کوټینګونو تولید لپاره اړین دی. باید هم شتون ولريفلټرونهد ویکیوم پمپونو د ساتنې لپاره، که چیرې شتون ونلري،موږ سره اړیکه ونیسئ.
د پوسټ وخت: نومبر-۱۲-۲۰۲۵
