O que é revestimento a vácuo?
O revestimento a vácuo é uma tecnologia avançada que deposita filmes finos funcionais na superfície de substratos por meio de métodos físicos ou químicos em um ambiente de vácuo. Seu principal valor reside na alta pureza, alta precisão e proteção ambiental, sendo amplamente utilizado em óptica, eletrônica, ferramentas, novas energias e outros campos.
O sistema de revestimento a vácuo precisa ser equipado com filtros de entrada?
Primeiramente, vamos entender quais são os poluentes comuns no revestimento a vácuo. Por exemplo, partículas, poeira, vapor de óleo, vapor d'água, etc. Esses poluentes que entram na câmara de revestimento causarão a redução da taxa de deposição, a irregularidade da camada de filme e até mesmo danos ao equipamento.
A situação em que o revestimento a vácuo requer filtros de entrada
- Durante o processo de revestimento, o material alvo espirra partículas.
- O requisito de pureza da camada de filme é alto, especialmente nas áreas de óptica e semicondutores.
- Existem gases corrosivos (facilmente produzidos na pulverização catódica reativa). Neste caso, o filtro é instalado principalmente para proteger a bomba de vácuo.
A situação em que o revestimento a vácuo não requer filtros de entrada
- Muitos prestadores de serviços de revestimento a vácuo utilizam um sistema de alto vácuo totalmente isento de óleo (como bomba molecular + bomba iônica) e o ambiente de trabalho é limpo. Portanto, não há necessidade de filtros de entrada, nem mesmo de filtros de exaustão.
- Há outra situação em que filtros de entrada não são necessários, ou seja, o requisito de pureza da camada de filme não é alto, como para alguns revestimentos decorativos.
Outros sobre bomba de difusão de óleo
- Se for utilizada uma bomba de óleo ou uma bomba de difusão de óleo,filtro de exaustãodeve ser instalado.
- O elemento filtrante de polímero não é resistente à alta temperatura da bomba de difusão
- Ao utilizar uma bomba de difusão de óleo, o óleo da bomba pode retornar e contaminar a câmara de revestimento. Portanto, é necessário um coletor de óleo frio ou defletor de óleo para evitar acidentes.
Em conclusão, se o sistema de revestimento a vácuo precisafiltros de entradadepende dos requisitos do processo, do projeto do sistema e do risco de contaminação.
Horário da publicação: 19/04/2025
