Ce este acoperirea în vid?
Acoperirea în vid este o tehnologie avansată care depune pelicule subțiri funcționale pe suprafața substraturilor prin metode fizice sau chimice într-un mediu de vid. Valoarea sa fundamentală constă în puritatea ridicată, precizia ridicată și protecția mediului și este utilizată pe scară largă în optică, electronică, scule, energie nouă și alte domenii.
Sistemul de acoperire în vid trebuie să fie echipat cu filtre de intrare?
În primul rând, să aflăm care sunt poluanții comuni în cazul acoperirii în vid. De exemplu, particule, praf, vapori de ulei, vapori de apă etc. Acești poluanți care intră în camera de acoperire vor determina scăderea ratei de depunere, neuniformitatea stratului de film și chiar deteriorarea echipamentului.
Situația în care acoperirea în vid necesită filtre de admisie
- În timpul procesului de acoperire, materialul țintă stropește particule.
- Cerința de puritate a stratului de film este ridicată, în special în domeniile opticii și semiconductorilor.
- Există gaze corozive (produse ușor în pulverizarea reactivă). În acest caz, filtrul este instalat în principal pentru a proteja pompa de vid.
Situația în care acoperirea în vid nu necesită filtre de admisie
- Mulți furnizori de servicii de acoperire în vid utilizează un sistem de vid înalt complet fără ulei (cum ar fi pompa moleculară + pompa de ioni), iar mediul de lucru este curat. Prin urmare, nu este nevoie de filtre de admisie sau chiar de filtre de evacuare.
- Există o altă situație în care filtrele de admisie nu sunt necesare, adică cerința de puritate a stratului de film nu este ridicată, cum ar fi în cazul unor acoperiri decorative.
Alte informații despre pompa de difuzie a uleiului
- Dacă se utilizează o pompă de ulei sau o pompă de difuzie a uleiului,filtru de evacuaretrebuie instalat.
- Elementul filtrant din polimer nu este rezistent la temperatura ridicată a pompei de difuzie
- Când se utilizează o pompă de difuzie a uleiului, uleiul pompei se poate retrage și contamina camera de acoperire. Prin urmare, este necesară o capcană de frig sau un deflector de ulei pentru a preveni accidentul.
În concluzie, dacă sistemul de acoperire în vid are nevoiefiltre de intraredepinde de cerințele procesului, de proiectarea sistemului și de riscul de contaminare.
Data publicării: 19 aprilie 2025
