Что такое вакуумное покрытие?
Вакуумное покрытие — это передовая технология, которая наносит функциональные тонкие пленки на поверхность подложек физическими или химическими методами в вакуумной среде. Ее основная ценность заключается в высокой чистоте, высокой точности и защите окружающей среды, и она широко используется в оптике, электронике, инструментах, новой энергетике и других областях.
Необходимо ли оснащать систему вакуумного нанесения покрытий входными фильтрами?
Во-первых, давайте узнаем, какие загрязняющие вещества являются наиболее распространенными при вакуумном покрытии. Например, частицы, пыль, пары масла, водяной пар и т. д. Попадая в камеру для нанесения покрытия, эти загрязняющие вещества приведут к снижению скорости осаждения, неравномерности слоя пленки и даже к повреждению оборудования.
Ситуация, когда вакуумное покрытие требует входных фильтров
- В процессе нанесения покрытия происходит разбрызгивание частиц материала мишени.
- Требования к чистоте пленочного слоя высоки, особенно в области оптики и полупроводников.
- Имеются едкие газы (легко образующиеся при реактивном распылении). В этом случае фильтр устанавливается в основном для защиты вакуумного насоса.
Ситуация, когда вакуумное покрытие не требует входных фильтров
- Многие поставщики услуг вакуумного покрытия используют полностью безмасляную высоковакуумную систему (например, молекулярный насос + ионный насос), и рабочая среда остается чистой. Поэтому нет необходимости во впускных фильтрах или даже выпускных фильтрах.
- Существует и другая ситуация, когда входные фильтры не требуются, то есть требования к чистоте пленочного слоя не высоки, например, для некоторых декоративных покрытий.
Другие о масляном диффузионном насосе
- Если используется масляный насос или масляный диффузионный насос,выхлопной фильтрдолжен быть установлен.
- Полимерный фильтрующий элемент не устойчив к высоким температурам диффузионного насоса.
- При использовании масляного диффузионного насоса масло насоса может течь обратно и загрязнять камеру нанесения покрытия. Поэтому для предотвращения аварии требуется холодная ловушка или масляный дефлектор.
В заключение, нужна ли система вакуумного покрытиявходные фильтрызависит от требований процесса, конструкции системы и риска загрязнения.
Время публикации: 19 апреля 2025 г.
