Что такое вакуумное покрытие?
Вакуумное напыление — это передовая технология, позволяющая наносить функциональные тонкие плёнки на поверхность подложек физическими или химическими методами в вакууме. Её основные преимущества заключаются в высокой чистоте, точности и экологичности. Она широко применяется в оптике, электронике, инструментах, новой энергетике и других областях.
Необходимо ли оснащать систему вакуумного нанесения покрытий входными фильтрами?
Для начала давайте разберёмся, какие загрязняющие вещества чаще всего встречаются при вакуумном напылении. Например, частицы, пыль, пары масла, водяной пар и т. д. Попадание этих загрязняющих веществ в камеру напыления может привести к снижению скорости осаждения, неравномерному слою плёнки и даже к повреждению оборудования.
Ситуация, когда вакуумное покрытие требует входных фильтров
- В процессе нанесения покрытия происходит разбрызгивание частиц материала мишени.
- Требования к чистоте пленочного слоя высоки, особенно в области оптики и полупроводников.
- При реактивном распылении присутствуют коррозионные газы. В этом случае фильтр устанавливается главным образом для защиты вакуумного насоса.
Ситуация, когда вакуумное покрытие не требует входных фильтров
- Многие поставщики услуг вакуумного нанесения покрытий используют полностью безмасляные высоковакуумные системы (например, молекулярный насос + ионный насос), обеспечивая чистоту рабочей среды. Поэтому нет необходимости во впускных и даже выпускных фильтрах.
- Существует и другая ситуация, когда входные фильтры не требуются, то есть требования к чистоте пленочного слоя не высоки, например, для некоторых декоративных покрытий.
Другое о масляном диффузионном насосе
- Если используется масляный насос или масляный диффузионный насос,выхлопной фильтрдолжен быть установлен.
- Полимерный фильтрующий элемент не устойчив к высоким температурам диффузионного насоса.
- При использовании масляного диффузионного насоса масло может течь обратно и загрязнять камеру нанесения. Поэтому для предотвращения аварии требуется холодная ловушка или масляный дефлектор.
В заключение, нужна ли система вакуумного покрытия?входные фильтрызависит от требований процесса, конструкции системы и риска загрязнения.
Время публикации: 19 апреля 2025 г.
