තුනී පටල තැන්පත් කිරීමේ නවීන ලෝකයේ, ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භ (ඊ-කදම්භ) වාෂ්පීකරණය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත්, ඝන ආලේපන නිර්මාණය කිරීමේ හැකියාව සඳහා කැපී පෙනේ. මෙම තාක්ෂණය වටා ඇති මූලික ප්රශ්නයක් වන්නේ එයට රික්ත පොම්පයක් අවශ්යද යන්නයි. පිළිතුර නිසැකවම ඔව් යන්නයි. ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත රික්ත පද්ධතියක් යනු හුදෙක් උපාංගයක් නොව ක්රියාවලිය ඵලදායීව හා කාර්යක්ෂමව ක්රියාත්මක වීමට නිරපේක්ෂ පූර්ව අවශ්යතාවයකි.
ඊ-කදම්භ වාෂ්පීකරණයේ හරය වන්නේ ජල සිසිලන කබොලක අඩංගු ප්රභව ද්රව්යයක් (රන්, සිලිකන් ඔක්සයිඩ් හෝ ඇලුමිනියම් වැනි) මත අධි ශක්ති ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භයක් නාභිගත කිරීමයි. දැඩි දේශීය උණුසුම ද්රව්යය දිය වී වාෂ්ප වීමට හේතු වේ. මෙම වාෂ්පීකරණය වූ පරමාණු පසුව දෘශ්ය රේඛාවක ගමන් කර උපස්ථරයක් මත ඝනීභවනය වී තුනී පටලයක් සාදයි. මෙම සම්පූර්ණ අනුපිළිවෙල සාමාන්යයෙන් 10⁻³ Pa සිට 10⁻⁶ Pa පරාසය තුළ ඉහළ රික්තක පරිසරයක් මත තීරණාත්මකව රඳා පවතී.
එවැනි ආන්තික රික්තයක් සඳහා අවශ්යතාවය තුන් ගුණයකි. පළමුව, එය ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භයේ බාධාවකින් තොරව ගමන් කිරීම සහතික කරයි. ඕනෑවට වඩා වායු අණු ඉදිරියේ, ඉලෙක්ට්රෝන විසිරී ගැටෙනු ඇත, ඒවායේ ශක්තිය නැති වී ඉලක්කයට සාන්ද්රිත තාපය ලබා දීමට අපොහොසත් වේ. කදම්භය නාභිගත වීම නවත්වන අතර, ක්රියාවලිය අකාර්යක්ෂම කරයි.
දෙවනුව, සහ වඩාත්ම වැදගත් දෙය නම්, රික්ත පරිසරය තැන්පත් කරන ලද පටලයේ සංශුද්ධතාවය සහ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීමයි. එය නොමැතිව, ඔක්සිජන් සහ ජල වාෂ්ප වැනි අවශේෂ වායූන් ආලේපනය විනාශකාරී ආකාර දෙකකින් දූෂණය කරනු ඇත: ඒවා වාෂ්පීකරණය කරන ලද ද්රව්ය සමඟ රසායනිකව ප්රතික්රියා කර අනවශ්ය ඔක්සයිඩ සාදනු ඇති අතර ඒවා වැඩෙන පටලයට අපද්රව්ය ලෙස ඇතුළත් වේ. මෙහි ප්රතිඵලයක් ලෙස සිදුරු සහිත, අඩු ඇලෙන සුළු සහ බාල යාන්ත්රික සහ දෘශ්ය ගුණ ඇති පටලයක් ඇති වේ. ඉහළ රික්තය වාෂ්පීකරණය කරන ලද පරමාණු සඳහා පිරිසිදු, "බැලිස්ටික්" මාර්ගයක් නිර්මාණය කරයි, ඒවා ඝන, ඒකාකාර සහ ඉහළ අඛණ්ඩතා ස්ථරයකට ඝනීභවනය වීමට ඉඩ සලසයි.
අවසාන වශයෙන්, රික්තය ඉලෙක්ට්රෝන තුවක්කුවේ සූත්රිකාව ආරක්ෂා කරයි. ඉලෙක්ට්රෝන විමෝචනය කරන තාපජ කැතෝඩය අතිශයින් ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී ක්රියාත්මක වන අතර වාතයට නිරාවරණය වුවහොත් ඔක්සිකරණය වී ක්ෂණිකව පාහේ දැවී යයි.
එබැවින්, රළු පොම්ප සහ ටර්බෝමොලිකියුලර් හෝ විසරණ පොම්ප වැනි ඉහළ රික්තක පොම්ප ඒකාබද්ධ කරන නවීන පොම්ප පද්ධතියක් අත්යවශ්ය වේ. නිගමනයක් ලෙස, රික්ත පොම්පය ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භ වාෂ්පීකරණය සක්රීය කිරීම පමණක් නොව; එය එය නිර්වචනය කරයි, අර්ධ සන්නායකවල සිට දෘෂ්ටි විද්යාව දක්වා කර්මාන්ත විසින් ඉල්ලා සිටින ඉහළ කාර්යසාධන ආලේපන නිෂ්පාදනය කිරීම සඳහා අත්යවශ්ය වන නොබිඳිය හැකි බන්ධනයක් සාදයි.පෙරහන්රික්ත පොම්ප ආරක්ෂා කිරීමට, නොමැති නම්,අපව අමතන්න.
පළ කිරීමේ කාලය: නොවැම්බර්-12-2025
