මූලික භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (PVD) ක්රියාවලියක් වන වාෂ්පීකරණ ආලේපනය මූලික වශයෙන් රික්ත තාක්ෂණය මත රඳා පවතී. රික්තක පොම්පය හුදෙක් සහායක උපාංගයක් නොව, ඉහළ පාලිත අණුක පරිමාණ පරිසරයක් නිර්මාණය කර පවත්වා ගැනීමෙන් සමස්ත ක්රියාවලියම සක්රීය කරන මුල් ගලයි. එහි ක්රියාකාරිත්වය සරල වාතය ඉවත් කිරීමට වඩා බොහෝ සෙයින් විහිදෙන අතර, උසස් තත්ත්වයේ ක්රියාකාරී තුනී පටල තැන්පත් කිරීම සඳහා අවශ්ය නිශ්චිත භෞතික තත්වයන් ස්ථාපිත කරයි.
ඉහළ රික්තයක් අවශ්ය වීමට ප්රධාන හේතුව වන්නේ වාෂ්පීකරණය වූ අංශුවල සරල රේඛීය ගමන සහතික කිරීමයි. වායුගෝලීය පීඩනයේදී, වායු අණුවල ඉහළ ඝනත්වය ක්ෂණික හා අහඹු ගැටුම් ඇති කරන අතර එමඟින් ආලේපන ද්රව්ය විසිරී යයි. ඉහළ රික්තයක් යටතේ (සාමාන්යයෙන් 10⁻⁴ සිට 10⁻⁶ mbar දක්වා), වාෂ්පීකරණය වූ පරමාණු හෝ අණු වල මධ්යන්ය නිදහස් මාර්ගය මීටර් කිහිපයක් දක්වා නාටකාකාර ලෙස වැඩි වන අතර එමඟින් ප්රභවයේ සිට උපස්ථරයට කෙලින්ම ගමන් කිරීමට ඉඩ සලසයි. මෙය පටල ඝණකම, ඒකාකාරිත්වය සහ සංයුතිය පිළිබඳ නිරවද්ය පාලනයක් සක්රීය කරයි.
තවද, ඉහළ රික්තක පරිසරයක් ඔක්සිකරණය හා දූෂණය වළක්වයි. බොහෝ ලෝහ (උදා: ඇලුමිනියම්, ක්රෝමියම්) සහ සංයෝග වාෂ්පීකරණ උෂ්ණත්වවලදී ඉතා ප්රතික්රියාශීලී වේ. ඔක්සිජන් සහ ජල වාෂ්ප වැනි ප්රතික්රියාශීලී වායූන් පාහේ ඉවත් කිරීම මඟින් ද්රව්ය ඒවායේ පිරිසිදු, ලෝහමය තත්වයේ තැන්පත් වීම සහතික කරයි, එය අවසාන ආලේපනයේ නිශ්චිත දෘශ්ය, විද්යුත් හෝ යාන්ත්රික ගුණාංග ලබා ගැනීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. මෙම පරිසරය ශක්තිමත් පටල ඇලවීම සඳහා අත්යවශ්ය වන දූෂක අවශෝෂණය කිරීමෙන් පරමාණුකව පිරිසිදු උපස්ථර මතුපිටක් ද සපයයි.
රික්තක පොම්ප පද්ධතිය පාරිසරික ඉංජිනේරුවෙකු ලෙස ක්රියා කරයි. එය අවශ්ය පාදක පීඩනය ඉක්මනින් ස්ථාපිත කළ යුතුය, ද්රව්ය හා සවිකිරීම් වලින් පිටවන වායු ඉවත් කිරීමෙන් ගතිකව ස්ථායිතාව පවත්වා ගත යුතු අතර ප්රතික්රියාශීලී ක්රියාවලීන්හි අතුරු නිෂ්පාදන හැසිරවිය යුතුය. මෙම ස්ථායිතාව ස්ථාවර කණ්ඩායමෙන් කණ්ඩායමට නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය සඳහා යතුරයි.
පෙරීමේ තීරණාත්මක අවශ්යතාවය පැන නගින්නේ මෙම නිරවද්ය පද්ධතිය ආරක්ෂා කිරීමෙනි. ආලේපන ක්රියාවලියටම සියුම් අංශු ද්රව්ය, ඉසින ලද ජල බිඳිති හෝ ඝනීභවනය විය හැකි වාෂ්ප ජනනය කළ හැකිය. නිසිආදාන පෙරහන, මෙම අපවිත්ර ද්රව්ය රික්ත පොම්පයට නැවත ඇද ගත හැකිය. මෙය භ්රමක සහ තලවල ගෙවී යාම වැඩි කිරීමට, පොම්ප තෙල් දූෂණය වීමට (තෙල් මුද්රා තැබූ පද්ධතිවල) සහ පොම්ප කිරීමේ වේගය සහ අවසාන රික්තය ක්රමයෙන් පිරිහීමට හේතු වේ. අවසානයේදී, මෙය ක්රියාවලි ස්ථායිතාවයට හානි කරයි, පොම්ප සේවා කාලය කෙටි කරයි, සහ නඩත්තු වියදම් වැඩි කරයි. එබැවින්, අංශු පෙරහන්, අණුක උගුල් හෝ සීතල උගුල් වැනි සුදුසු පෙරහන් ස්ථාපනය කිරීම විකල්පයක් නොවන නමුත් රික්ත පොම්පය ආරක්ෂා කිරීම, ස්ථාවර ආලේපන ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම සහ නිෂ්පාදන කාලය ආරක්ෂා කිරීම සඳහා අත්යවශ්ය ආයෝජනයකි.
සමස්තයක් වශයෙන්, රික්ත පොම්ප මඟින් ද්රව්ය ප්රවාහනය සහ පටල සෑදීම සඳහා පිරිසිදු, අපිරිසිදු නොවන සහ පාලිත පරිසරයක් ලබා දීමෙන් වාෂ්පීකරණ ආලේපනය සක්රීය කරයි. විශ්වාසදායක, ඉහළ කාර්ය සාධනයක් සහ ආර්ථිකමය තුනී පටල නිෂ්පාදනයක් ලබා ගැනීම සඳහා ශක්තිමත් පෙරීමේ උපාය මාර්ගයක් සමඟ මෙම හැකියාව සම්බන්ධ කිරීම අත්යවශ්ය වේ.
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-25-2025
