Kaj je vakuumsko premazovanje?
Vakuumsko nanašanje premazov je napredna tehnologija, ki s fizikalnimi ali kemičnimi metodami v vakuumskem okolju nanaša funkcionalne tanke filme na površino substratov. Njena osrednja vrednost je visoka čistost, visoka natančnost in varstvo okolja ter se pogosto uporablja v optiki, elektroniki, orodjih, novi energetiki in drugih področjih.
Ali mora biti sistem za vakuumsko nanašanje premazov opremljen z vhodnimi filtri?
Najprej se poglejmo, kateri so pogosti onesnaževalci pri vakuumskem premazovanju. Na primer delci, prah, oljni hlapi, vodna para itd. Ti onesnaževalci, ki vstopijo v komoro za nanašanje premaza, povzročijo zmanjšanje hitrosti nanašanja, neenakomerno plast filma in celo poškodbe opreme.
Situacija, ko vakuumsko nanašanje zahteva vhodne filtre
- Med postopkom nanašanja premaza ciljni material brizga delce.
- Zahteve glede čistosti filmske plasti so visoke, zlasti na področju optike in polprevodnikov.
- Prisotni so korozivni plini (ki zlahka nastanejo pri reaktivnem razprševanju). V tem primeru je filter nameščen predvsem za zaščito vakuumske črpalke.
Situacija, ko vakuumsko nanašanje premazov ne zahteva vhodnih filtrov
- Mnogi ponudniki storitev vakuumskega premazovanja uporabljajo popolnoma brezoljni visokovakuumski sistem (kot je molekularna črpalka + ionska črpalka), delovno okolje pa je čisto. Zato ni potrebe po vhodnih filtrih ali celo izhodnih filtrih.
- Obstaja še ena situacija, kjer vhodni filtri niso potrebni, to pomeni, da zahteva glede čistosti filmske plasti ni visoka, na primer pri nekaterih dekorativnih premazih.
Drugi o črpalki za difuzijo olja
- Če se uporablja oljna črpalka ali oljna difuzijska črpalka,izpušni filtermora biti nameščen.
- Polimerni filtrirni element ni odporen na visoke temperature difuzijske črpalke
- Pri uporabi oljne difuzijske črpalke lahko olje črpalke steče nazaj in onesnaži komoro za premaz. Zato je za preprečitev nesreče potrebna hladna past ali oljna pregrada.
Skratka, ali je potreben sistem za vakuumsko nanašanje premazovvhodni filtriodvisno od zahtev procesa, zasnove sistema in tveganja kontaminacije.
Čas objave: 19. april 2025
