Dunida casriga ah ee dhigaalka khafiifka ah ee khafiifka ah, uumiga elektarooniga ah (e-beam) ayaa u taagan inuu awood u leeyahay inuu abuuro nadiif sare oo cufan ah. Su'aasha aasaasiga ah ee ku xeeran tignoolajiyadan ayaa ah inay u baahan tahay bamka faakiumka. Jawaabtu waa haa oo aan mugdi ku jirin. Nadaamka faakuumka waxqabadka sare ma aha oo kaliya qalab la mid ah laakiin waa shardi buuxda oo ah in geedi socodku si hufan oo hufan u shaqeeyo.
Xudunta uumiga e-beamku waxa ay ku lug leedahay in diirada la saaro laydhka tamarta sare leh ee elektarooniga ah oo la saarayo agabka (sida dahabka, silikoon okssaydhka, ama aluminium) ee ku jira weel biyaha qaboojiyay. Kuleyliyaha deegaanka ee xooggani wuxuu keenaa walxuhu inay dhalaalaan oo ay uumi baxaan. Atomyadan uumiga leh ayaa markaa ku socdaala dariiqa-aragga-aragga oo ay isku ururiyaan substrate-ka, samaynta filim khafiif ah. Taxanahan oo dhami wuxuu si aad ah ugu tiirsan yahay bay'ad faaruq ah, sida caadiga ah inta u dhaxaysa 10⁻³ Pa ilaa 10⁶ Pa.
Baahida loo qabo faakuumka xad dhaafka ah waa saddex laab. Marka hore, waxay hubisaa safarka aan xannibnayn ee iftiinka elektarooniga ah. Marka ay jiraan unugyo gaas oo aad u badan, elektaroonnada ayaa kala firdhi doona oo isku dhici doona, luminaya tamartoodii oo ku guul darraystay in ay gaarsiiyaan kulaylka la beegsanayo. Dhuxulku waxay diiradda saari doontaa, taasoo ka dhigaysa habka mid aan waxtar lahayn.
Marka labaad, iyo tan ugu muhiimsan, deegaanka faakuumku wuxuu dammaanad qaadayaa nadiifnimada iyo tayada filimka la shubay. La'aanteed, gaasaska haraaga ah sida ogsijiinta iyo uumiga biyaha waxay wasakheeyaan dahaarka laba siyaabood oo ba'an: waxay kiimiko ahaan uga falcelinayaan walxaha uumiga si ay u sameeyaan oksaydhyo aan loo baahnayn, waxayna ku biiri doonaan filimka sii kordhaya sida wasakh. Tani waxay keentaa filim daloolsan, xabag yar, oo leh sifooyin farsamo iyo muuqaal hoose. Faakuumka sare wuxuu u abuuraa waddo nadiif ah, "ballistic" atamka uumiga, taasoo u oggolaanaysa inay isku ururiyaan lakab cufan, labis ah, iyo hufnaan sare.
Ugu dambayntii, faakuumku waxa uu ilaaliyaa fiilada qoriga elektarooniga ah. Kathode-ka thermionic ee sii daaya elektarooniga wuxuu ku shaqeeyaa heerkul aad u sarreeya wuxuuna oxidize oo gubi doonaa ku dhawaad isla markiiba haddii ay hawada gasho.
Sidaa darteed, nidaamka bamgareynta casriga ah-isku-darka bambooyin roughing iyo bambooyin-vacuum-sare sida matoorka turbomolecular ama fidinta-waa lama huraan. Gebogebadii, bamka faakuumku ma awoodo uun uumi-bax elektaroonig ah; waxay qeexaysaa, samaynta dammaanad aan la jabin karin oo lagama maarmaan u ah soo saarista dahaarka waxqabadka sare leh ee ay dalbadaan warshadaha laga bilaabo semiconductors ilaa optics. Sidoo kale waa inay jirtaafiltarradasi loo ilaaliyo matoorada vacuum, haddii aysan jirin,nala soo xidhiidh.
Waqtiga boostada: Nov-12-2025
