Dina dunya canggih déposisi pilem ipis, évaporasi sinar éléktron (e-beam) nangtung kaluar pikeun kamampuhna pikeun nyieun-purity tinggi, coatings padet. Patarosan dasar ngeunaan téknologi ieu nyaéta naha peryogi pompa vakum. Jawabanna nyaéta enya anu teu jelas. Sistem vakum anu berkinerja luhur sanés ngan ukur aksésori tapi mangrupikeun syarat mutlak pikeun prosésna tiasa dianggo sacara efektif sareng éfisién.
Inti évaporasi e-beam ngalibatkeun fokus sinar éléktron énergi tinggi kana bahan sumber (kayaning emas, silikon oksida, atawa aluminium) dikandung dina crucible cai-tiis. Pemanasan lokal anu kuat nyababkeun bahan ngalembereh sareng nguap. Atom-atom anu nguap ieu teras ngarambat dina jalur tetempoan sareng ngembun dina substrat, ngabentuk film ipis. Sakabéh runtuyan ieu kritis gumantung kana lingkungan vakum tinggi, ilaharna dina rentang 10⁻³ Pa nepi ka 10⁻⁶ Pa.
Kabutuhan pikeun vakum ekstrim sapertos tilu kali lipat. Kahiji, éta ensures perjalanan unobstructed tina beam éléktron. Ku ayana loba teuing molekul gas, éléktron bakal paburencay jeung tabrakan, leungit tanaga maranéhanana sarta gagal pikeun ngirimkeun panas kentel ka udagan. Beam bakal defocus, ngajadikeun prosés teu epektip.
Kadua, sareng anu paling penting, lingkungan vakum ngajamin kamurnian sareng kualitas pilem anu disimpen. Tanpa éta, gas sésa kawas oksigén jeung uap cai bakal ngotorkeun palapis dina dua cara dahsyat: aranjeunna kimiawi bakal meta jeung bahan ngejat pikeun ngabentuk oksida nu teu dihoyongkeun, sarta aranjeunna bakal jadi diasupkeun kana pilem tumuwuh salaku najis. Ieu ngakibatkeun pilem anu porous, kirang napel, sarta mibanda sipat mékanis jeung optik inferior. Vakum anu luhur nyiptakeun jalur "balistik" anu bersih pikeun atom anu ngejat, ngamungkinkeun aranjeunna ngembun jadi lapisan anu padet, seragam, sareng integritas luhur.
Tungtungna, vakum ngajaga filamén éléktron gun urang. Katoda térmionik anu ngaluarkeun éléktron beroperasi dina suhu anu luhur pisan sareng bakal ngaoksidasi sareng ngaduruk ampir langsung upami kakeunaan hawa.
Ku alatan éta, sistem ngompa canggih-ngagabungkeun numput roughing sarta pompa vakum tinggi kawas turbomolecular atanapi difusi numput-mangrupakeun indispensable. Kasimpulanana, pompa vakum henteu ngan ukur ngaktipkeun évaporasi sinar éléktron; eta ngahartikeun eta, ngabentuk hiji beungkeut unbreakable nu penting pisan pikeun ngahasilkeun coatings-kinerja tinggi ditungtut ku industri ti semikonduktor kana élmu optik. Aya ogé kedahsaringanpikeun ngajaga pompa vakum, upami teu aya,taros Kami.
waktos pos: Nov-12-2025
