Vad är vakuumbeläggning?
Vakuumbeläggning är en avancerad teknik som avsätter funktionella tunna filmer på ytan av substrat genom fysikaliska eller kemiska metoder i en vakuummiljö. Dess kärnvärde ligger i hög renhet, hög precision och miljöskydd, och används ofta inom optik, elektronik, verktyg, ny energi och andra områden.
Behöver vakuumbeläggningssystemet vara utrustat med inloppsfilter?
Låt oss först lära oss vilka vanliga föroreningar som finns vid vakuumbeläggning. Till exempel partiklar, damm, oljeånga, vattenånga etc. Dessa föroreningar som kommer in i beläggningskammaren kommer att minska avsättningshastigheten, göra filmskiktet ojämnt och till och med skada utrustningen.
Situationen där vakuumbeläggning kräver inloppsfilter
- Under beläggningsprocessen stänker målmaterialet partiklar.
- Renhetskravet för filmskiktet är högt, särskilt inom optik och halvledare.
- Det finns korrosiva gaser (som lätt bildas vid reaktiv sputtering). I detta fall är filtret installerat huvudsakligen för att skydda vakuumpumpen.
Situationen där vakuumbeläggning inte kräver inloppsfilter
- Många leverantörer av vakuumbeläggningstjänster använder ett helt oljefritt högvakuumsystem (som molekylärpump + jonpump), och arbetsmiljön är ren. Därför behövs inget inloppsfilter eller ens avgasfilter.
- Det finns en annan situation där inloppsfilter inte krävs, det vill säga att renhetskravet för filmskiktet inte är högt, till exempel för vissa dekorativa beläggningar.
Andra om oljediffusionspump
- Om en oljepump eller oljediffusionspump används,avgasfiltermåste installeras.
- Polymerfilterelementet är inte motståndskraftigt mot diffusionspumpens höga temperatur
- När man använder en oljediffusionspump kan pumpoljan rinna tillbaka och förorena beläggningskammaren. Därför krävs en köldfälla eller oljebaffel för att förhindra olyckan.
Sammanfattningsvis, huruvida vakuumbeläggningssystemet behöverinloppsfilterberor på processkrav, systemdesign och kontamineringsrisk.
Publiceringstid: 19 april 2025
