సన్నని పొర నిక్షేపణ యొక్క అధునాతన ప్రపంచంలో, ఎలక్ట్రాన్ పుంజం (ఇ-పుంజం) బాష్పీభవనం అధిక-స్వచ్ఛత, దట్టమైన పూతలను సృష్టించే సామర్థ్యం కోసం ప్రత్యేకంగా నిలుస్తుంది. ఈ సాంకేతికత చుట్టూ ఉన్న ప్రాథమిక ప్రశ్న ఏమిటంటే దీనికి వాక్యూమ్ పంప్ అవసరమా. సమాధానం నిస్సందేహంగా అవును. అధిక-పనితీరు గల వాక్యూమ్ వ్యవస్థ కేవలం ఒక అనుబంధం కాదు, కానీ ప్రక్రియ సమర్థవంతంగా మరియు సమర్ధవంతంగా పనిచేయడానికి ఒక సంపూర్ణ అవసరం.
ఇ-బీమ్ బాష్పీభవనం యొక్క ప్రధాన అంశం ఏమిటంటే, నీటితో చల్లబడిన క్రూసిబుల్లో ఉన్న మూల పదార్థం (బంగారం, సిలికాన్ ఆక్సైడ్ లేదా అల్యూమినియం వంటివి) పై అధిక శక్తి గల ఎలక్ట్రాన్ పుంజాన్ని కేంద్రీకరించడం. తీవ్రమైన స్థానిక తాపన పదార్థం కరిగి ఆవిరి అయ్యేలా చేస్తుంది. ఈ బాష్పీభవన అణువులు తరువాత లైన్-ఆఫ్-సైట్ మార్గంలో ప్రయాణించి ఒక ఉపరితలంపై ఘనీభవించి, సన్నని పొరను ఏర్పరుస్తాయి. ఈ మొత్తం క్రమం అధిక-వాక్యూమ్ వాతావరణంపై విమర్శనాత్మకంగా ఆధారపడి ఉంటుంది, సాధారణంగా 10⁻³ Pa నుండి 10⁻⁶ Pa పరిధిలో ఉంటుంది.
అటువంటి తీవ్రమైన వాక్యూమ్ అవసరం మూడు రెట్లు. మొదటిది, ఇది ఎలక్ట్రాన్ పుంజం యొక్క అడ్డంకులు లేని ప్రయాణాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. చాలా ఎక్కువ వాయు అణువుల సమక్షంలో, ఎలక్ట్రాన్లు చెల్లాచెదురుగా మరియు ఢీకొంటాయి, వాటి శక్తిని కోల్పోతాయి మరియు లక్ష్యానికి సాంద్రీకృత వేడిని అందించడంలో విఫలమవుతాయి. పుంజం ఫోకస్ను తగ్గిస్తుంది, ప్రక్రియను అసమర్థంగా చేస్తుంది.
రెండవది, మరియు అత్యంత కీలకమైనది, వాక్యూమ్ వాతావరణం డిపాజిటెడ్ ఫిల్మ్ యొక్క స్వచ్ఛత మరియు నాణ్యతకు హామీ ఇస్తుంది. అది లేకుండా, ఆక్సిజన్ మరియు నీటి ఆవిరి వంటి అవశేష వాయువులు పూతను రెండు వినాశకరమైన మార్గాల్లో కలుషితం చేస్తాయి: అవి ఆవిరి చేయబడిన పదార్థంతో రసాయనికంగా చర్య జరిపి అవాంఛిత ఆక్సైడ్లను ఏర్పరుస్తాయి మరియు అవి పెరుగుతున్న ఫిల్మ్లో మలినాలుగా కలిసిపోతాయి. దీని ఫలితంగా పోరస్, తక్కువ అంటుకునే మరియు నాసిరకం యాంత్రిక మరియు ఆప్టికల్ లక్షణాలను కలిగి ఉన్న ఫిల్మ్ ఏర్పడుతుంది. అధిక వాక్యూమ్ బాష్పీభవించిన అణువుల కోసం శుభ్రమైన, "బాలిస్టిక్" మార్గాన్ని సృష్టిస్తుంది, అవి దట్టమైన, ఏకరీతి మరియు అధిక-సమగ్రత పొరలో ఘనీభవించడానికి వీలు కల్పిస్తుంది.
చివరగా, వాక్యూమ్ ఎలక్ట్రాన్ గన్ యొక్క ఫిలమెంట్ను రక్షిస్తుంది. ఎలక్ట్రాన్లను విడుదల చేసే థర్మియోనిక్ కాథోడ్ చాలా ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద పనిచేస్తుంది మరియు గాలికి గురైనట్లయితే ఆక్సీకరణం చెంది దాదాపు తక్షణమే కాలిపోతుంది.
అందువల్ల, రఫింగ్ పంపులు మరియు టర్బోమోలిక్యులర్ లేదా డిఫ్యూజన్ పంపుల వంటి అధిక-వాక్యూమ్ పంపులను కలిపే అధునాతన పంపింగ్ వ్యవస్థ తప్పనిసరి. ముగింపులో, వాక్యూమ్ పంప్ ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ బాష్పీభవనాన్ని మాత్రమే ప్రారంభించదు; ఇది దానిని నిర్వచిస్తుంది, సెమీకండక్టర్ల నుండి ఆప్టిక్స్ వరకు పరిశ్రమలు డిమాండ్ చేసే అధిక-పనితీరు పూతలను ఉత్పత్తి చేయడానికి అవసరమైన ఒక విడదీయరాని బంధాన్ని ఏర్పరుస్తుంది. కూడా ఉండాలిఫిల్టర్లువాక్యూమ్ పంపులను రక్షించడానికి, లేకపోతే,మమ్మల్ని సంప్రదించండి.
పోస్ట్ సమయం: నవంబర్-12-2025
