Дар ҷаҳони мураккаби таҳшиншавии қабати тунук, бухоршавии чӯби электронӣ (e-beam) барои қобилияти эҷоди қабатҳои тозаи баланд ва зич фарқ мекунад. Саволи асосӣ дар атрофи ин технология ин аст, ки оё он насоси вакуумро талаб мекунад. Ҷавоб як ҳа аст. Системаи пуриқтидори вакуумӣ на танҳо як лавозимот, балки шарти мутлақ барои фаъолияти самаранок ва самараноки раванд мебошад.
Асоси бухоршавии чӯби электронӣ тамаркузи як нури электронии энергияи баландро ба маводи манбаъ (ба монанди тилло, оксиди кремний ё алюминий) дар бар мегирад, ки дар тигели бо об хунукшуда мавҷуд аст. Гармшавии шадиди маҳаллӣ боиси гудохта ва буғ шудани мавод мегардад. Ин атомҳои буғшуда баъдан дар як роҳи хати чашм ҳаракат мекунанд ва дар як субстрат конденсатсия шуда, як қабати тунукро ташкил медиҳанд. Ин ҳама пайдарпаӣ аз муҳити баланд-вакуумӣ, маъмулан дар доираи аз 10⁻³ Па то 10⁻⁶ Па вобаста аст.
Зарурати ин гуна холигии шадид се баробар аст. Аввалан, он ҳаракати бемамониати шуои электрониро таъмин мекунад. Дар ҳузури молекулаҳои аз ҳад зиёди газ, электронҳо пароканда мешаванд ва бархӯрда, энергияи худро гум мекунанд ва гармии мутамарказро ба ҳадаф расонида наметавонанд. Нури фокусро гум мекунад ва ин равандро бесамар мегардонад.
Дуюм ва муҳимтар аз ҳама, муҳити вакуумӣ покӣ ва сифати филми гузошташударо кафолат медиҳад. Бидуни он, газҳои боқимонда ба монанди оксиген ва буғи об рӯйпӯшро бо ду роҳи харобиовар ифлос мекунанд: онҳо бо маводи буғшуда ба таври кимиёвӣ реаксия карда, оксидҳои номатлубро ба вуҷуд меоранд ва онҳо ба қабати афзоянда ҳамчун наҷосат дохил мешаванд. Ин боиси он мегардад, ки плёнка ковок, часпак камтар ва дорои хосиятҳои механикӣ ва оптикии пасттар аст. Вакууми баланд барои атомҳои буғшуда роҳи тоза, "баллистикӣ" эҷод мекунад, ки ба онҳо имкон медиҳад, ки ба қабати зиччи, якхела ва якпорчагии баланд конденсатсия шаванд.
Ниҳоят, вакуум филаменти таппончаи электрониро муҳофизат мекунад. Катоди термионикӣ, ки электронҳо мебарорад, дар ҳарорати бениҳоят баланд кор мекунад ва дар сурати дучор шудан бо ҳаво қариб дарҳол оксид мешавад ва сӯхта мешавад.
Аз ин рӯ, системаи мураккаби насосӣ, ки насосҳои ноҳамвор ва насосҳои баланд вакуумӣ, ба монанди насосҳои турбомолекулярӣ ё диффузӣ - зарур аст. Хулоса, насоси вакуумӣ на танҳо бухоршавии шуои электрониро фароҳам меорад; онро муайян намуда, пайванди канданашавандаро ба вучуд меорад, ки барои истехсол намудани рангхои сермахсули саноат, ки аз нимнокилхо то оптика талаб карда мешавад, зарур аст. Инчунин бояд бошадфилтрҳобарои муҳофизат кардани насосҳои вакуумӣ, агар вуҷуд надошта бошад,бо мо тамос гиред.
Вақти фиристодан: Ноябр-12-2025
