Саволи маъмул дар истеҳсолоти пешрафта ин аст: Оё кафшери электронии чӯбро (EBW) насоси вакуумӣ талаб мекунад? Ҷавоби кӯтоҳ дар аксари ҳолатҳо ҳа аст. Насоси вакуумӣ на танҳо як лавозимот, балки қалби системаи анъанавии EBW мебошад, ки қобилиятҳои беназири онро фароҳам меорад.
Асоси EBW тавлиди ҷараёни мутамаркази электронҳои баландсуръатро барои гудохта ва муттаҳид кардани мавод дар бар мегирад. Ин раванд ба молекулаҳои газ бениҳоят ҳассос аст. Дар муҳити ғайривакуумӣ, ин молекулаҳо бо электронҳо бархӯрданд ва боиси пароканда шудани чӯб, аз даст додани энергия ва фокус мегардад. Дар натиҷа як кафшери васеъ, номуайян ва бесамар хоҳад буд, ки ҳадафи дақиқии дақиқи EBW ва воридшавии амиқро комилан барбод медиҳад. Ғайр аз он, катоди таппончаи электронӣ, ки электронҳоро мебарорад, дар ҳарорати бениҳоят баланд кор мекунад ва дар сурати дучор шудан бо ҳаво оксид мешавад ва фавран сӯзонда мешавад.
Аз ин рӯ, EBW High-Vacuum, ки маъмултарин аст, муҳити бениҳоят тоза, маъмулан аз 10⁻² то 10⁻⁴ Паро талаб мекунад. Барои ноил шудан ба ин системаи мураккаби чандзинаи насосӣ зарур аст. Насоси ноҳамвор аввал қисми асосии атмосфераро хориҷ мекунад ва пас аз он насоси баланд вакуумӣ, ба монанди насоси диффузия ё турбомолекулярӣ, ки барои кори оптималӣ шароити мусоид фароҳам меорад. Ин кафшери бе ифлосшавӣ ва якпорчагии баландро таъмин мекунад ва онро барои барномаҳои аэрокосмосӣ, тиббӣ ва нимноқилҳо зарурӣ мегардонад.
Вариацияе, ки бо номи миёна ё нарм-вакуум EBW маълум аст, дар фишори баландтар (тақрибан 1-10 Па) кор мекунад. Бо вуҷуди он ки он барои ҳосилнокии беҳтар вақти насосро ба таври назаррас коҳиш медиҳад, он ҳанӯз ҳам комилан насосҳои вакуумиро барои нигоҳ доштани ин муҳити назоратшаванда ва фишори паст барои пешгирӣ кардани парокандашавӣ ва оксидшавии аз ҳад зиёд талаб мекунад.
Истиснои назаррас EBW Non-Vacuum мебошад, ки дар он кафшер дар фазои кушод анҷом дода мешавад. Бо вуҷуди ин, ин иштибоҳ аст. Ҳангоме ки камераи кортӣ нест карда мешавад, худи таппончаи электронӣ то ҳол дар зери вакууми баланд нигоҳ дошта мешавад. Пас аз он нур тавассути як қатор диафрагмаҳои фишори дифференсиалӣ ба ҳаво интиқол дода мешавад. Ин усул аз парокандашавии назарраси чӯб азоб мекашад ва муҳофизати сахти рентгениро талаб мекунад, ки истифодаи онро бо барномаҳои мушаххаси ҳаҷм маҳдуд мекунад.
Хулоса, синергетика байни нури электронӣ ва насоси вакуумӣ он чизест, ки ин технологияи пурқувватро муайян мекунад. Барои ноил шудан ба сифат ва дақиқии олӣ, ки EBW бо он машҳур аст, насоси вакуумӣ интихоб нест - ин як зарурати асосӣ аст.
Вақти фиристодан: Ноябр-10-2025
