Пӯшиши бухоршавӣ, як раванди асосии ҷойгиркунии буғи физикӣ (PVD), асосан ба технологияи вакуумӣ такя мекунад. Насоси вакуумӣ на танҳо як дастгоҳи ёрирасон, балки санги асосӣ аст, ки тамоми равандро тавассути эҷод ва нигоҳдории муҳити дорои миқёси баланди назоратшавандаи молекулавӣ имконпазир месозад. Вазифаи он аз тозакунии оддии ҳаво хеле фаротар меравад ва шароити дақиқи физикии заруриро барои ҷойгиркунии плёнкаҳои тунуки функсионалии баландсифат муқаррар мекунад.
Сабаби асосии зарурати вакууми баланд таъмини ҳаракати рости зарраҳои бухоршуда мебошад. Дар фишори атмосфера, зичии баланди молекулаҳои газ боиси бархӯрдҳои фаврӣ ва тасодуфӣ мегардад ва маводи рӯйпӯшро пароканда мекунад. Дар вакууми баланд (одатан аз 10 то 10 мбар), масири миёнаи озоди атомҳо ё молекулаҳои бухоршуда ба таври назаррас то якчанд метр меафзояд, ки ба онҳо имкон медиҳад, ки мустақиман аз манбаъ ба субстрат ҳаракат кунанд. Ин имкон медиҳад, ки ғафсии плёнка, якрангӣ ва таркиб дақиқ назорат карда шавад.
Ғайр аз ин, муҳити вакуумии баланд аз оксидшавӣ ва олудашавӣ пешгирӣ мекунад. Аксари металлҳо (масалан, алюминий, хром) ва пайвастагиҳо дар ҳарорати бухоршавӣ хеле реактивӣ мебошанд. Қариб нест кардани газҳои реактивӣ ба монанди оксиген ва буғи об таъмин мекунад, ки маводҳо дар ҳолати холис ва металлии худ ҷойгир шаванд, ки барои ба даст овардани хосиятҳои мушаххаси оптикӣ, электрикӣ ё механикӣ дар пӯшиши ниҳоӣ муҳим аст. Ин муҳит инчунин сатҳи субстрати аз ҷиҳати атомӣ тозаро тавассути десорбсияи ифлоскунандаҳо таъмин мекунад, ки барои часпиши қавии плёнка муҳим аст.
Системаи насоси вакуумӣ ҳамчун муҳандиси муҳити зист амал мекунад. Он бояд фишори зарурии пойгоҳро зуд муқаррар кунад, бо роҳи хориҷ кардани газҳои зиёдатӣ аз мавод ва таҷҳизот устувориро ба таври динамикӣ нигоҳ дорад ва маҳсулоти иловагиро дар равандҳои реактивӣ коркард кунад. Ин устуворӣ калиди сифати устувори истеҳсоли партия ба партия мебошад.
Зарурати муҳими филтратсия аз ҳифзи ин системаи дақиқ ба миён меояд. Худи раванди пӯшиш метавонад зарраҳои майда, қатраҳои пошидашуда ё буғҳои конденсатсияшавандаро ба вуҷуд орад. Бе дурустӣфилтри вуруд, ин ифлоскунандаҳо метавонанд ба насоси вакуумӣ баргарданд. Ин боиси фарсудашавии роторҳо ва парҳо, ифлосшавии равғани насос (дар системаҳои бо равған мӯҳршуда) ва пастшавии тадриҷии суръати насос ва вакууми ниҳоӣ мегардад. Дар ниҳоят, ин устувории равандро зери хатар мегузорад, мӯҳлати хидмати насосро кӯтоҳ мекунад ва хароҷоти нигоҳдориро зиёд мекунад. Аз ин рӯ, насб кардани филтрҳои мувофиқ - ба монанди филтрҳои зарраӣ, домҳои молекулавӣ ё домҳои хунук - ихтиёрӣ нест, балки як сармоягузории муҳим барои ҳифзи насоси вакуумӣ, таъмини сифати мунтазами пӯшиш ва ҳифзи вақти кории истеҳсолӣ мебошад.
Дар маҷмӯъ, насосҳои вакуумӣ имкон медиҳанд, ки пӯшиши бухоршавӣ тавассути таъмини муҳити тоза, олуданашуда ва назоратшаванда барои интиқоли мавод ва ташаккули плёнка таъмин карда шавад. Пайваст кардани ин қобилият бо стратегияи мустаҳками филтратсия барои ба даст овардани истеҳсоли боэътимод, баландсифат ва сарфакоронаи плёнкаи тунук муҳим аст.
Вақти нашр: 25 декабри соли 2025
