Технологияи нимноқилҳо ҳамчун таҳкурсии асосии саноати муосир хизмат мекунад, ки имкон медиҳад, ки назорат ва интиқоли сигнал дар саросари барномаҳо, аз дастгоҳҳои электронӣ ва системаҳои коммуникатсионӣ то зеҳни сунъӣ ва бахшҳои нави энергетикӣ. Дар байни маводи гуногуни нимноқилҳо, кремнийи монокристалл мавқеи ивазнашаванда дорад, ки тозагии он бевосита кори дастгоҳ ва самаранокии табдили энергияро муайян мекунад.
Истеҳсоли кремнийи кристаллӣ муҳитҳои махсусро талаб мекунад, ки маъмулан ҳамчун равандҳои кашидани кристалл маъруфанд. Технологияи вакуумӣ дар тоза кардани ҳаво ва ифлосиҳо нақши муҳим мебозад ва фазои ултра тоза барои афзоиши кристаллҳои кремнийро фароҳам меорад. Барои нигоҳ доштани тозагии камераи вакуумӣ ва муҳофизати насоси вакуумӣ, шумо бояд мутахассиси касбиро интихоб кунед.насоси вакуумӣ филтри чанг.
Нақши муҳими филтрҳои чангии насоси вакуумӣ дар саноати нимноқилҳо
Филтрҳои чангкашакхамчун монеахои асосй амал мекунанд, ки кори муътадили системахои вакуумро таъмин мекунанд. Онҳо зарраҳои чангро, ки дар акси ҳол ба насоси вакуумӣ медароянд, ба таври муассир монеъ мешаванд ва аз фарсудашавии механикӣ ва басташавии гардиши равған пешгирӣ мекунанд. Дар муҳитҳои истеҳсоли нимноқилҳо ҳатто зарраҳои зермикронӣ метавонанд камбудиҳои торро ба вуҷуд оранд, ки ба кори чипҳо ва суръати ҳосил таъсир мерасонанд.
Мулоҳизаҳои асосӣ барои интихоби филтр дар саноати нимноқилҳо
1. Дақиқии филтратсия: Сатҳи мувофиқи филтратсия бояд мувофиқи талаботи раванд интихоб карда шавад, ки маъмулан ба дақиқии филтратсия 0,1 микрон ё беҳтар ниёз доранд
2. Мутобиқати моддӣ: Маводҳои филтр бояд бо газҳои коркард ва муҳити вакуумӣ мувофиқ бошанд, ки одатан аз пӯлоди зангногир ё хӯлаҳои махсусро талаб мекунанд
3. Иқтидори нигоҳдории чанг: Ҳангоми нигоҳ доштани дақиқии филтратсия, қобилияти кофӣ барои нигоҳ доштани чанг барои дароз кардани мӯҳлати хидмат лозим аст
4. Хусусиятҳои пастшавии фишор: Ҳам пастшавии фишори ибтидоӣ ва ҳам ниҳоӣ бояд дар доираи доираи оқилона назорат карда шаванд
Талаботи махсуси филтрҳо барои саноати нимноқилҳо
Истеҳсоли нимноқилҳо ба муҳити вакуумӣ талаботи ниҳоят баланд мегузорад:
- Талабот ба тозагӣ: Нигоҳ доштани синфи 10 ё муҳити беҳтари тоза
- Талаботи устуворӣ: Нигоҳдории дарозмуддати сатҳи устувори вакуум
- Назорати ифлосшавӣ: Пешгирӣ аз ҳар гуна буғи эҳтимолии равған ё ифлосшавии зарраҳо
Маҳлулҳои тавсияшудаи филтратсия барои саноати нимноқилҳо
Барои саноати нимноқилҳо системаи филтратсияи бисёрзинагӣ тавсия дода мешавад:
1.Филтрҳои пешакӣ:Барои муҳофизат кардани филтрҳои дақиқи минбаъда зарраҳои калонтарро боздошт кунед
2. Филтрҳои асосӣ: Барои таъмини дақиқии зарурӣ аз маводи филтратсияи баландсамар истифода баред
3. Филтрҳои кимиёвӣ (вақте ки лозим аст): ифлоскунандаҳои эҳтимолии газро хориҷ кунед
Интихоби мувофиқфилтрҳои насоси вакуумӣна танҳо мӯҳлати хизмати таҷҳизотро дароз мекунад, балки устувории равандҳо ва суръати ҳосили маҳсулотро таъмин намуда, барои истеҳсоли миқёси калони пайваста дар саноати нимноқилҳо муҳофизати боэътимодро таъмин мекунад.
Вақти фиристодан: 26-2025 август
