การเคลือบสูญญากาศคืออะไร?
การเคลือบสูญญากาศเป็นเทคโนโลยีขั้นสูงที่เคลือบฟิล์มบางที่ใช้งานได้บนพื้นผิวของวัสดุพิมพ์ด้วยวิธีการทางกายภาพหรือทางเคมีในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ คุณค่าหลักของการเคลือบสูญญากาศอยู่ที่ความบริสุทธิ์สูง ความแม่นยำสูง และการปกป้องสิ่งแวดล้อม มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมออปติกส์ อิเล็กทรอนิกส์ เครื่องมือ พลังงานใหม่ และสาขาอื่นๆ
ระบบเคลือบสูญญากาศจำเป็นต้องมีตัวกรองทางเข้าหรือไม่?
ก่อนอื่น เรามาเรียนรู้กันก่อนว่าสารมลพิษที่พบบ่อยในการเคลือบสูญญากาศมีอะไรบ้าง เช่น อนุภาค ฝุ่น ไอน้ำมัน ไอน้ำ ฯลฯ สารมลพิษเหล่านี้ที่เข้าไปในห้องเคลือบจะทำให้อัตราการเคลือบลดลง ชั้นฟิล์มไม่สม่ำเสมอ และอาจสร้างความเสียหายให้กับอุปกรณ์ได้
สถานการณ์ที่การเคลือบสูญญากาศจำเป็นต้องใช้ตัวกรองทางเข้า
- ในระหว่างกระบวนการเคลือบ วัสดุเป้าหมายจะกระเด็นอนุภาคออกมา
- ความต้องการความบริสุทธิ์ของชั้นฟิล์มนั้นสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในด้านออปติกส์และเซมิคอนดักเตอร์
- มีก๊าซกัดกร่อน (ซึ่งเกิดขึ้นได้ง่ายในการสปัตเตอร์แบบปฏิกิริยา) ในกรณีนี้ ตัวกรองจะถูกติดตั้งไว้เพื่อป้องกันปั๊มสุญญากาศเป็นหลัก
สถานการณ์ที่การเคลือบสูญญากาศไม่จำเป็นต้องใช้ตัวกรองทางเข้า
- ผู้ให้บริการเคลือบสูญญากาศหลายรายใช้ระบบสุญญากาศสูงที่ปราศจากน้ำมันอย่างสมบูรณ์ (เช่น ปั๊มโมเลกุล + ปั๊มไอออน) และสภาพแวดล้อมการทำงานก็สะอาด ดังนั้นจึงไม่จำเป็นต้องใช้ตัวกรองทางเข้า หรือแม้แต่ตัวกรองไอเสีย
- มีอีกสถานการณ์หนึ่งที่ไม่จำเป็นต้องใช้ตัวกรองทางเข้า นั่นคือ ความต้องการความบริสุทธิ์ของชั้นฟิล์มไม่สูง เช่น การเคลือบตกแต่งบางชนิด
อื่นๆเกี่ยวกับปั๊มกระจายน้ำมัน
- หากใช้ปั๊มน้ำมันหรือปั๊มกระจายน้ำมันตัวกรองไอเสียจะต้องได้รับการติดตั้ง
- ไส้กรองโพลีเมอร์ไม่ทนต่ออุณหภูมิสูงของปั๊มกระจาย
- เมื่อใช้ปั๊มกระจายน้ำมัน น้ำมันในปั๊มอาจไหลย้อนกลับและปนเปื้อนห้องเคลือบ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องใช้กับดักความเย็นหรือแผ่นกั้นน้ำมันเพื่อป้องกันอุบัติเหตุ
สรุปได้ว่าระบบเคลือบสูญญากาศจำเป็นหรือไม่ตัวกรองทางเข้าขึ้นอยู่กับข้อกำหนดของกระบวนการ การออกแบบระบบ และความเสี่ยงจากการปนเปื้อน
เวลาโพสต์: 19 เม.ย. 2568
