การเคลือบสูญญากาศคืออะไร?
การเคลือบสูญญากาศเป็นเทคโนโลยีขั้นสูงที่เคลือบฟิล์มบางที่ใช้งานได้บนพื้นผิวของวัสดุพิมพ์โดยใช้วิธีทางกายภาพหรือเคมีในสภาพแวดล้อมสูญญากาศ คุณค่าหลักของเทคโนโลยีนี้คือความบริสุทธิ์สูง ความแม่นยำสูง และการปกป้องสิ่งแวดล้อม และใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านออปติกส์ อิเล็กทรอนิกส์ เครื่องมือ พลังงานใหม่ และสาขาอื่นๆ
ระบบเคลือบสูญญากาศจำเป็นต้องมีตัวกรองทางเข้าหรือไม่?
ก่อนอื่น เรามาเรียนรู้กันก่อนว่าสารมลพิษทั่วไปในการเคลือบสูญญากาศมีอะไรบ้าง ตัวอย่างเช่น อนุภาค ฝุ่น ไอระเหยของน้ำมัน ไอระเหยของน้ำ เป็นต้น สารมลพิษเหล่านี้ที่เข้าไปในห้องเคลือบจะทำให้ปริมาณการเคลือบลดลง ชั้นฟิล์มไม่สม่ำเสมอ และอาจส่งผลเสียต่ออุปกรณ์ได้
สถานการณ์ที่การเคลือบสูญญากาศจำเป็นต้องใช้ตัวกรองทางเข้า
- ระหว่างกระบวนการเคลือบ วัสดุเป้าหมายจะกระเซ็นอนุภาค
- ความต้องการความบริสุทธิ์ของชั้นฟิล์มนั้นสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในด้านออปติกส์และเซมิคอนดักเตอร์
- มีก๊าซกัดกร่อน (ซึ่งเกิดขึ้นได้ง่ายในการสปัตเตอร์แบบปฏิกิริยา) ในกรณีนี้ ตัวกรองจะถูกติดตั้งไว้เพื่อป้องกันปั๊มสุญญากาศเป็นหลัก
สถานการณ์ที่การเคลือบสูญญากาศไม่จำเป็นต้องใช้ตัวกรองทางเข้า
- ผู้ให้บริการเคลือบสูญญากาศหลายรายใช้ระบบสูญญากาศสูงที่ปราศจากน้ำมันอย่างสมบูรณ์ (เช่น ปั๊มโมเลกุล + ปั๊มไอออน) และสภาพแวดล้อมการทำงานก็สะอาด ดังนั้นจึงไม่จำเป็นต้องใช้ตัวกรองทางเข้าหรือแม้แต่ตัวกรองไอเสีย
- มีอีกสถานการณ์หนึ่งที่ไม่จำเป็นต้องใช้ตัวกรองทางเข้า นั่นคือ ความต้องการความบริสุทธิ์ของชั้นฟิล์มไม่สูง เช่น สำหรับการเคลือบตกแต่งบางประเภท
อื่นๆเกี่ยวกับปั๊มกระจายน้ำมัน
- หากใช้ปั๊มน้ำมันหรือปั๊มกระจายน้ำมันไส้กรองไอเสียจะต้องได้รับการติดตั้ง
- ไส้กรองโพลีเมอร์ไม่ทนต่ออุณหภูมิสูงของปั๊มกระจาย
- เมื่อใช้ปั๊มกระจายน้ำมัน น้ำมันของปั๊มอาจไหลย้อนกลับและปนเปื้อนห้องเคลือบ ดังนั้น จึงจำเป็นต้องใช้กับดักความเย็นหรือแผ่นกั้นน้ำมันเพื่อป้องกันอุบัติเหตุ
สรุปว่าระบบเคลือบสูญญากาศจำเป็นหรือไม่ตัวกรองทางเข้าขึ้นอยู่กับข้อกำหนดของกระบวนการ การออกแบบระบบ และความเสี่ยงจากการปนเปื้อน
เวลาโพสต์ : 19 เม.ย. 2568
