เทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ถือเป็นรากฐานสำคัญของอุตสาหกรรมสมัยใหม่ ช่วยให้สามารถควบคุมและส่งสัญญาณได้อย่างแม่นยำครอบคลุมการใช้งานหลากหลาย ตั้งแต่อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และระบบสื่อสาร ไปจนถึงปัญญาประดิษฐ์และภาคพลังงานใหม่ ในบรรดาวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ ซิลิคอนผลึกเดี่ยวถือเป็นวัสดุที่ไม่อาจทดแทนได้ เนื่องจากความบริสุทธิ์ของซิลิคอนเป็นตัวกำหนดประสิทธิภาพของอุปกรณ์และประสิทธิภาพการแปลงพลังงานโดยตรง
การผลิตซิลิคอนผลึกเดี่ยวต้องอาศัยสภาพแวดล้อมเฉพาะทาง ซึ่งโดยทั่วไปเรียกว่ากระบวนการดึงผลึก เทคโนโลยีสุญญากาศมีบทบาทสำคัญในการกำจัดอากาศและสิ่งสกปรก ทำให้เกิดพื้นที่สะอาดเป็นพิเศษสำหรับการเจริญเติบโตของผลึกซิลิคอน เพื่อรักษาความสะอาดของห้องสุญญากาศและปกป้องปั๊มสุญญากาศ คุณจำเป็นต้องเลือกผู้เชี่ยวชาญตัวกรองฝุ่นปั๊มสุญญากาศ.
บทบาทสำคัญของตัวกรองฝุ่นปั๊มสุญญากาศในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
ตัวกรองฝุ่นปั๊มสุญญากาศทำหน้าที่เป็นเกราะป้องกันสำคัญที่ช่วยให้ระบบสุญญากาศทำงานได้อย่างเสถียร ทำหน้าที่ดักจับอนุภาคฝุ่นที่อาจเข้าไปในปั๊มสุญญากาศได้อย่างมีประสิทธิภาพ ป้องกันการสึกหรอทางกลและการอุดตันของวงจรน้ำมัน ในสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แม้แต่อนุภาคขนาดเล็กกว่าไมครอนก็อาจทำให้เกิดข้อบกพร่องของโครงตาข่าย ซึ่งส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพและอัตราผลผลิตของชิปได้
ข้อควรพิจารณาหลักในการเลือกตัวกรองในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
1. ความแม่นยำในการกรอง:ต้องเลือกระดับการกรองที่เหมาะสมตามข้อกำหนดของกระบวนการ โดยทั่วไปต้องมีความแม่นยำในการกรอง 0.1 ไมครอนหรือดีกว่า
2. ความเข้ากันได้ของวัสดุ:วัสดุกรองจะต้องเข้ากันได้กับก๊าซกระบวนการและสภาพแวดล้อมสุญญากาศ โดยปกติต้องใช้สแตนเลสหรือโลหะผสมพิเศษ
3. ความสามารถในการกักเก็บฝุ่น:ในขณะที่ยังคงรักษาความแม่นยำในการกรอง จำเป็นต้องมีความสามารถในการกักเก็บฝุ่นที่เพียงพอเพื่อยืดอายุการใช้งาน
4. ลักษณะการลดแรงดัน: การลดแรงดันทั้งเบื้องต้นและขั้นสุดท้ายจะต้องได้รับการควบคุมให้อยู่ในช่วงที่เหมาะสม
ข้อกำหนดพิเศษของตัวกรองสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
การผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีข้อกำหนดสูงมากต่อสภาพแวดล้อมสุญญากาศ:
- ข้อกำหนดด้านความสะอาด: รักษาสภาพแวดล้อมที่สะอาดระดับ 10 ขึ้นไป
- ข้อกำหนดด้านเสถียรภาพ: การบำรุงรักษาระดับสุญญากาศให้คงที่ในระยะยาว
- การควบคุมการปนเปื้อน: หลีกเลี่ยงการปนเปื้อนไอระเหยของน้ำมันหรืออนุภาคต่างๆ ที่อาจเกิดขึ้น

โซลูชันการกรองที่แนะนำสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ขอแนะนำระบบการกรองหลายขั้นตอน:
1.พรีฟิลเตอร์:สกัดกั้นอนุภาคขนาดใหญ่เพื่อปกป้องตัวกรองความแม่นยำที่ตามมา
2. ตัวกรองหลัก:ใช้วัสดุกรองประสิทธิภาพสูงเพื่อให้มั่นใจถึงความแม่นยำตามที่ต้องการ
3. ตัวกรองเคมี (เมื่อจำเป็น): กำจัดสารปนเปื้อนก๊าซที่อาจเกิดขึ้น
การเลือกที่เหมาะสมตัวกรองปั๊มสุญญากาศไม่เพียงแต่ยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์เท่านั้น แต่ยังช่วยให้มั่นใจถึงความเสถียรของกระบวนการและอัตราผลผลิตของผลิตภัณฑ์อีกด้วย โดยให้การปกป้องที่เชื่อถือได้สำหรับการผลิตต่อเนื่องขนาดใหญ่ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
เวลาโพสต์: 26 ส.ค. 2568