Vakum Kaplama Nedir?
Vakum kaplama, vakum ortamında fiziksel veya kimyasal yöntemlerle alttaşların yüzeyine işlevsel ince filmler yerleştiren gelişmiş bir teknolojidir. Temel değeri yüksek saflık, yüksek hassasiyet ve çevre korumadır ve optik, elektronik, alet, yeni enerji ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılır.
Vakum kaplama sisteminin giriş filtreleriyle donatılması gerekiyor mu?
Öncelikle, vakum kaplamada yaygın olarak bulunan kirleticilerin neler olduğunu öğrenelim. Örneğin, parçacıklar, toz, yağ buharı, su buharı vb. Kaplama haznesine giren bu kirleticiler, biriktirme hızının düşmesine, film tabakasının düzensiz olmasına ve hatta ekipmana zarar vermesine neden olur.
Vakum kaplamanın giriş filtreleri gerektirdiği durum
- Kaplama işlemi sırasında hedef malzemeye partiküller sıçratılır.
- Özellikle optik ve yarı iletken alanlarında film tabakasının saflık gereksinimi yüksektir.
- Aşındırıcı gazlar mevcuttur (reaktif püskürtmede kolayca üretilir). Bu durumda, filtre esas olarak vakum pompasını korumak için monte edilir.
Vakum kaplamanın giriş filtrelerine ihtiyaç duymadığı durum
- Birçok vakumlu kaplama hizmeti sağlayıcısı, tamamen yağsız yüksek vakumlu bir sistem (moleküler pompa + iyon pompası gibi) kullanır ve çalışma ortamı temizdir. Bu nedenle, giriş filtrelerine veya hatta egzoz filtrelerine gerek yoktur.
- Giriş filtrelerine ihtiyaç duyulmayan bir başka durum da, örneğin bazı dekoratif kaplamalarda olduğu gibi, film tabakasının saflık gereksiniminin yüksek olmamasıdır.
Yağ difüzyon pompası hakkında diğerleri
- Yağ pompası veya yağ difüzyon pompası kullanılıyorsa,egzoz filtresiKurulması gerekir.
- Polimer filtre elemanı difüzyon pompasının yüksek sıcaklığına dayanıklı değildir
- Yağ difüzyon pompası kullanıldığında, pompa yağı geri akarak kaplama haznesini kirletebilir. Bu nedenle, kazayı önlemek için bir soğuk tuzak veya yağ ayırıcısı gereklidir.
Sonuç olarak, vakum kaplama sisteminin gerekli olup olmadığıgiriş filtreleriproses gereksinimlerine, sistem tasarımına ve kontaminasyon riskine bağlıdır.
Gönderi zamanı: 19 Nis 2025
