Vakum Kaplama Nedir?
Vakum kaplama, vakum ortamında fiziksel veya kimyasal yöntemlerle alt tabakaların yüzeyine işlevsel ince filmler biriktiren gelişmiş bir teknolojidir. Temel değeri yüksek saflık, yüksek hassasiyet ve çevre korumadır ve optik, elektronik, aletler, yeni enerji ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılır.
Vakum kaplama sisteminin giriş filtreleriyle donatılması gerekiyor mu?
Öncelikle vakum kaplamada yaygın kirleticilerin neler olduğunu öğrenelim. Örneğin, parçacıklar, toz, yağ buharı, su buharı, vb. Kaplama odasına giren bu kirleticiler, biriktirme oranının azalmasına, film tabakasının düzensiz olmasına ve hatta ekipmana zarar vermesine neden olur.
Vakum kaplamanın giriş filtreleri gerektirdiği durum
- Kaplama işlemi sırasında hedef malzemeye parçacıklar sıçrar.
- Özellikle optik ve yarı iletken alanlarında film tabakasının saflık gereksinimi yüksektir.
- Aşındırıcı gazlar vardır (reaktif püskürtmede kolayca üretilir). Bu durumda, filtre esas olarak vakum pompasını korumak için takılır.
Vakum kaplamanın giriş filtrelerine ihtiyaç duymadığı durum
- Birçok vakum kaplama hizmeti sağlayıcısı tamamen yağsız yüksek vakum sistemi (moleküler pompa + iyon pompası gibi) kullanır ve çalışma ortamı temizdir. Bu nedenle, giriş filtrelerine veya hatta egzoz filtrelerine gerek yoktur.
- Giriş filtrelerine ihtiyaç duyulmayan bir durum daha vardır, yani film tabakasının saflık gereksinimi bazı dekoratif kaplamalarda olduğu gibi yüksek değildir.
Yağ difüzyon pompası hakkında diğerleri
- Yağ pompası veya yağ difüzyon pompası kullanılıyorsa,egzoz filtresiKurulması gerekir.
- Polimer filtre elemanı difüzyon pompasının yüksek sıcaklığına dayanıklı değildir
- Yağ difüzyon pompası kullanıldığında, pompa yağı geri akabilir ve kaplama odasını kirletebilir. Bu nedenle, kazayı önlemek için soğuk tuzak veya yağ deflektörü gerekir.
Sonuç olarak, vakum kaplama sisteminin gerekli olup olmadığıgiriş filtreleriproses gereksinimlerine, sistem tasarımına ve kontaminasyon riskine bağlıdır.
Gönderi zamanı: 19-Nis-2025
