Парга әйләндерү каплавы, үзәк физик пар чыгару (PVD) процессы, нигездә, вакуум технологиясенә таяна. Вакуум насосы - ярдәмче җайланма гына түгел, ә югары дәрәҗәдә контрольдә тотылган молекуляр масштаблы мохит булдыру һәм саклау юлы белән бөтен процессны тәэмин итүче нигез ташы. Аның функциясе гади һава чыгарудан күпкә киңрәк, югары сыйфатлы функциональ юка пленкалар урнаштыру өчен кирәкле төгәл физик шартларны билгели.
Югары вакуум таләп итүнең төп сәбәбе - парга әйләнгән кисәкчәләрнең туры сызык буенча хәрәкәтен тәэмин итү. Атмосфера басымында газ молекулаларының югары тыгызлыгы тиз һәм очраклы бәрелешләргә китерә, каплау материалын тарата. Югары вакуум астында (гадәттә 10⁻⁴ - 10⁻⁶ мбар), парга әйләнгән атомнарның яки молекулаларның уртача ирекле юлы берничә метрга кадәр кискен арта, бу аларга чыганактан турыдан-туры субстратка хәрәкәт итәргә мөмкинлек бирә. Бу пленка калынлыгын, бердәмлеген һәм составын төгәл контрольдә тотарга мөмкинлек бирә.
Моннан тыш, югары вакуум мохите оксидлашу һәм пычрануны булдырмый. Күпчелек металлар (мәсәлән, алюминий, хром) һәм кушылмалар парга әйләнү температурасында югары реактив. Кислород һәм су пары кебек реактив газларның диярлек юкка чыгуы материалларның саф, металлик халәтендә урнашуын тәэмин итә, бу соңгы каплауда билгеле бер оптик, электр яки механик үзлекләргә ирешү өчен бик мөһим. Бу мохит шулай ук пычраткыч матдәләрне десорбцияләү юлы белән атом ягыннан чиста субстрат өслеген тәэмин итә, бу пленканың нык ябышуы өчен бик мөһим.
Вакуум насосы системасы әйләнә-тирә мохит инженеры ролен үти. Ул кирәкле база басымын тиз арада урнаштырырга, материаллардан һәм җайланмалардан газларны бетерү юлы белән тотрыклылыкны динамик рәвештә сакларга һәм реактив процессларда өстәмә продуктларны эшкәртергә тиеш. Бу тотрыклылык партиядән партиягә җитештерү сыйфатының тотрыклылыгы өчен төп шарт булып тора.
Фильтрлауга ихтыяҗ бу төгәл системаны саклаудан туа. Каплау процессы үзе вак кисәкчәләр, сиптерелгән тамчылар яки конденсацияләнә торган парлар барлыкка китерә ала. Тиешле чараларсызкерү фильтры, бу пычраткычлар вакуум насосына кире тартылырга мөмкин. Бу роторларның һәм пычакларның тузуына, насос маеның пычрануына (май белән герметикланган системаларда) һәм насос тизлегенең һәм вакуумның акрынлап начарлануына китерә. Ниһаять, бу процесс тотрыклылыгын боза, насосның хезмәт итү вакытын кыскарта һәм хезмәт күрсәтү чыгымнарын арттыра. Шуңа күрә, тиешле фильтрларны - мәсәлән, кисәкчә фильтрларын, молекуляр тозакларны яки салкын тозакларны урнаштыру - вакуум насосын саклау, каплау сыйфатының тотрыклылыгын тәэмин итү һәм җитештерүнең эш вакытын саклау өчен мәҗбүри инвестиция түгел, ә мөһим инвестиция.
Гомумән алганда, вакуум насослары материал ташу һәм пленка формалашуы өчен саф, пычранмаган һәм контрольдә тотылган мохит тәэмин итеп, парга әйләндерү каплавын тәэмин итә. Бу мөмкинлекне ышанычлы, югары җитештерүчән һәм экономияле юка пленка җитештерүгә ирешү өчен ныклы фильтрлау стратегиясе белән берләштерү бик мөһим.
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 25 декабре
