Що таке вакуумне покриття?
Вакуумне покриття – це передова технологія, яка дозволяє наносити функціональні тонкі плівки на поверхню підкладок за допомогою фізичних або хімічних методів у вакуумному середовищі. Її основна цінність полягає у високій чистоті, високій точності та захисті навколишнього середовища, і вона широко використовується в оптиці, електроніці, інструментах, новій енергетиці та інших галузях.
Чи потрібно обладнувати вакуумну систему покриття вхідними фільтрами?
Спочатку давайте дізнаємося, які забруднювачі є поширеними під час вакуумного покриття. Наприклад, частинки, пил, масляна пара, водяна пара тощо. Ці забруднювачі, що потрапляють у камеру для покриття, призводять до зниження швидкості нанесення покриття, нерівномірності шару плівки та навіть пошкодження обладнання.
Ситуація, коли вакуумне покриття вимагає вхідних фільтрів
- Під час процесу нанесення покриття цільовий матеріал розбризкує частинки.
- Вимоги до чистоти плівкового шару є високими, особливо в галузях оптики та напівпровідників.
- Існують агресивні гази (легко утворюються при реактивному розпиленні). У цьому випадку фільтр встановлюється головним чином для захисту вакуумного насоса.
Ситуація, коли вакуумне покриття не потребує вхідних фільтрів
- Багато постачальників послуг вакуумного покриття використовують повністю безмасляну систему високого вакууму (наприклад, молекулярний насос + іонний насос), і робоче середовище чисте. Тому немає потреби у вхідних фільтрах або навіть у вихідних фільтрах.
- Існує й інша ситуація, коли вхідні фільтри не потрібні, тобто вимога до чистоти плівкового шару не є високою, наприклад, для деяких декоративних покриттів.
Інші про масляний дифузійний насос
- Якщо використовується масляний насос або масляний дифузійний насос,випускний фільтрмає бути встановлений.
- Полімерний фільтруючий елемент нестійкий до високої температури дифузійного насоса
- Під час використання масляного дифузійного насоса масло з насоса може стікати назад і забруднювати камеру для покриття. Тому для запобігання аварії потрібна холодна пастка або масляна перегородка.
На завершення, чи потрібна система вакуумного покриттявхідні фільтризалежить від вимог процесу, конструкції системи та ризику забруднення.
Час публікації: 19 квітня 2025 р.
