Yupqa qatlamli yotqizishning murakkab dunyosida elektron nurlar (e-nur) bug'lanishi yuqori toza, zich qoplamalarni yaratish qobiliyati bilan ajralib turadi. Ushbu texnologiya atrofidagi asosiy savol - bu vakuum nasosini talab qiladimi? Javob aniq ha. Yuqori samarali vakuum tizimi nafaqat aksessuar, balki jarayonning samarali va samarali ishlashi uchun mutlaq shartdir.
Elektron nurli bug'lanishning yadrosi yuqori energiyali elektron nurni suv bilan sovutilgan tigelda joylashgan manba materialiga (oltin, kremniy oksidi yoki alyuminiy kabi) qaratishni o'z ichiga oladi. Kuchli mahalliy isitish materialning erishi va bug'lanishiga olib keladi. Keyinchalik bu bug'langan atomlar ko'rish chizig'i bo'ylab harakatlanadi va substratda kondensatsiyalanadi va yupqa plyonka hosil qiladi. Bu butun ketma-ketlik kritik darajada yuqori vakuumli muhitga bog'liq bo'lib, odatda 10⁻³ Pa dan 10⁻⁶ Pa oralig'ida.
Bunday ekstremal vakuumga ehtiyoj uch barobardir. Birinchidan, u elektron nurning to'siqsiz harakatlanishini ta'minlaydi. Juda ko'p gaz molekulalari mavjud bo'lganda, elektronlar tarqalib ketadi va to'qnashadi, energiyani yo'qotadi va konsentrlangan issiqlikni nishonga etkazib bera olmaydi. Nur fokusni yo'qotib, jarayonni samarasiz qiladi.
Ikkinchidan, eng muhimi, vakuum muhiti yotqizilgan plyonkaning tozaligi va sifatini kafolatlaydi. Busiz kislorod va suv bug'lari kabi qoldiq gazlar qoplamani ikki halokatli usulda ifloslantiradi: ular bug'langan material bilan kimyoviy reaksiyaga kirishib, kiruvchi oksidlarni hosil qiladi va ular o'sib borayotgan plyonkaga aralashmalar sifatida qo'shiladi. Bu g'ovakli, kamroq yopishtiruvchi va past mexanik va optik xususiyatlarga ega bo'lgan plyonkaga olib keladi. Yuqori vakuum bug'langan atomlar uchun toza, "ballistik" yo'l hosil qiladi, bu ularning zich, bir xil va yuqori yaxlit qatlamga kondensatsiyalanishiga imkon beradi.
Nihoyat, vakuum elektron qurolning filamentini himoya qiladi. Elektronlarni chiqaradigan termion katod juda yuqori haroratlarda ishlaydi va havo ta'sirida deyarli bir zumda oksidlanadi va yonib ketadi.
Shu sababli, turbomolekulyar yoki diffuziya nasoslari kabi qo'pol nasoslar va yuqori vakuumli nasoslarni birlashtirgan murakkab nasos tizimi ajralmas hisoblanadi. Xulosa qilib aytadigan bo'lsak, vakuum pompasi faqat elektron nurlarning bug'lanishini ta'minlamaydi; uni belgilaydi, yarimo'tkazgichlardan optikagacha bo'lgan sohalar tomonidan talab qilinadigan yuqori samarali qoplamalarni ishlab chiqarish uchun zarur bo'lgan uzilmaydigan aloqani hosil qiladi. Shuningdek, bo'lishi kerakfiltrlarvakuum nasoslarini himoya qilish uchun, agar yo'q bo'lsa,Biz bilan bog'lanish.
Yuborilgan vaqt: 2025 yil 12-noyabr
