Ilg'or ishlab chiqarishda keng tarqalgan savol: Elektron nurli payvandlash (EBW) vakuum nasosini talab qiladimi? Qisqa javob - ko'p hollarda "ha". Vakuum nasosi nafaqat aksessuar, balki an'anaviy EBW tizimining yuragi bo'lib, uning noyob imkoniyatlarini ta'minlaydi.
EBW yadrosi materiallarni eritish va eritish uchun yuqori tezlikli elektronlarning yo'naltirilgan oqimini yaratishni o'z ichiga oladi. Bu jarayon gaz molekulalariga juda sezgir. Vakuum bo'lmagan muhitda bu molekulalar elektronlar bilan to'qnashib, nurning tarqalishiga, energiyani yo'qotishiga va fokuslanishiga olib keladi. Natijada keng, noaniq va samarasiz payvand bo'lib, EBW ning aniq aniqligi va chuqur kirib borish maqsadini butunlay yo'q qiladi. Bundan tashqari, elektronlarni chiqaradigan elektron qurolning katodi juda yuqori haroratlarda ishlaydi va havo ta'sirida bir zumda oksidlanadi va yonib ketadi.
Shuning uchun yuqori vakuumli EBW, eng keng tarqalgan shakli, odatda 10⁻² dan 10⁻⁴ Pa gacha bo'lgan juda toza muhitni talab qiladi. Bunga erishish uchun murakkab ko'p bosqichli nasos tizimini talab qiladi. Dag'al nasos avval atmosferaning asosiy qismini, keyin esa diffuziya yoki turbomolekulyar nasos kabi yuqori vakuumli nasosni olib tashlaydi, bu esa optimal ishlash uchun zarur bo'lgan toza sharoitlarni yaratadi. Bu aerokosmik, tibbiy va yarimo'tkazgichli ilovalar uchun ajralmas holga keltiruvchi ifloslanishsiz, yuqori yaxlit payvandni ta'minlaydi.
O'rta yoki yumshoq vakuumli EBW deb nomlanuvchi o'zgarish yuqori bosimda (taxminan 1-10 Pa) ishlaydi. Yaxshiroq mahsuldorlik uchun nasosning ishlamay qolishi vaqtini sezilarli darajada qisqartirsa ham, haddan tashqari sochilish va oksidlanishni oldini olish uchun ushbu nazorat ostida, past bosimli muhitni saqlab turish uchun vakuum nasoslarini mutlaqo talab qiladi.
E'tiborga molik istisno - bu vakuumli bo'lmagan EBW, bu erda payvandlash ochiq atmosferada amalga oshiriladi. Biroq, bu noto'g'ri. Ish qismining kamerasi yo'q qilingan bo'lsa-da, elektron tabancaning o'zi hali ham yuqori vakuum ostida saqlanadi. Keyin nur bir qator differentsial bosim teshiklari orqali havoga chiqariladi. Bu usul nurlarning sezilarli darajada tarqalishidan aziyat chekadi va qattiq rentgen nurlanishidan himoya qilishni talab qiladi, bu esa uni maxsus yuqori hajmli ilovalar bilan cheklaydi.
Xulosa qilib aytganda, elektron nurlar va vakuum pompasi o'rtasidagi sinergiya bu kuchli texnologiyani belgilaydi. EBW mashhur bo'lgan yuqori sifat va aniqlikka erishish uchun vakuum nasosi variant emas - bu asosiy zaruratdir.
Yuborilgan vaqt: 2025 yil 10-noyabr
