Bug'lanish qoplamasi, asosiy fizik bug'lanish (PVD) jarayoni bo'lib, asosan vakuum texnologiyasiga tayanadi. Vakuum pompasi shunchaki yordamchi qurilma emas, balki yuqori darajada boshqariladigan molekulyar miqyosdagi muhitni yaratish va saqlash orqali butun jarayonni ta'minlaydigan poydevordir. Uning vazifasi oddiy havoni olib tashlashdan ancha uzoqqa cho'ziladi, yuqori sifatli funktsional yupqa plyonkalarni yotqizish uchun zarur bo'lgan aniq fizik sharoitlarni yaratadi.
Yuqori vakuumni talab qilishning asosiy sababi bug'langan zarrachalarning to'g'ri chiziqli harakatlanishini ta'minlashdir. Atmosfera bosimida gaz molekulalarining yuqori zichligi darhol va tasodifiy to'qnashuvlarga olib keladi va qoplama materialini sochadi. Yuqori vakuum ostida (odatda 10⁻⁴ dan 10⁻⁶ mbar gacha), bug'langan atomlar yoki molekulalarning o'rtacha erkin yo'li bir necha metrgacha keskin oshadi, bu ularning manbadan substratga to'g'ridan-to'g'ri harakatlanishiga imkon beradi. Bu plyonka qalinligi, bir xilligi va tarkibi ustidan aniq nazorat qilish imkonini beradi.
Bundan tashqari, yuqori vakuumli muhit oksidlanish va ifloslanishning oldini oladi. Ko'pgina metallar (masalan, alyuminiy, xrom) va birikmalar bug'lanish haroratida yuqori reaktivlikka ega. Kislorod va suv bug'i kabi reaktiv gazlarning deyarli yo'q qilinishi materiallarning sof, metall holatida cho'kishini ta'minlaydi, bu esa oxirgi qoplamada o'ziga xos optik, elektr yoki mexanik xususiyatlarga erishish uchun juda muhimdir. Bu muhit, shuningdek, kuchli plyonka yopishishi uchun zarur bo'lgan ifloslantiruvchi moddalarni desorbtsiya qilish orqali atom jihatidan toza substrat yuzasini ta'minlaydi.
Vakuum nasos tizimi atrof-muhit muhandisi vazifasini bajaradi. U kerakli bazaviy bosimni tezda o'rnatishi, materiallar va armaturalardan chiqindi gazlarni olib tashlash orqali dinamik ravishda barqarorlikni saqlab turishi va reaktiv jarayonlarda qo'shimcha mahsulotlarni qayta ishlashi kerak. Bu barqarorlik ketma-ket ishlab chiqarish sifatining izchilligi uchun kalit hisoblanadi.
Filtrlashning muhim zarurati ushbu aniq tizimni himoya qilishdan kelib chiqadi. Qoplama jarayonining o'zi mayda zarrachalar, sachragan tomchilar yoki kondensatsiyalanuvchi bug'larni hosil qilishi mumkin. Tegishli choralarsizKirish filtri, bu ifloslantiruvchi moddalar vakuum nasosiga qaytarilishi mumkin. Bu rotorlar va pichoqlarning aşınmasının kuchayishiga, nasos moyining ifloslanishiga (moy bilan yopilgan tizimlarda) va nasos tezligining asta-sekin pasayishiga va yakuniy vakuumga olib keladi. Oxir-oqibat, bu jarayon barqarorligiga putur yetkazadi, nasosning ishlash muddatini qisqartiradi va texnik xizmat ko'rsatish xarajatlarini oshiradi. Shuning uchun, zarrachalar filtrlari, molekulyar tuzoqlar yoki sovuq tuzoqlar kabi tegishli filtrlarni o'rnatish ixtiyoriy emas, balki vakuum nasosini himoya qilish, qoplamaning barqaror sifatini ta'minlash va ishlab chiqarishning ish vaqtini himoya qilish uchun muhim investitsiya hisoblanadi.
Umuman olganda, vakuum nasoslari materiallarni tashish va plyonka hosil bo'lishi uchun sof, ifloslanmagan va nazorat ostida muhitni ta'minlash orqali bug'lanish qoplamasini ta'minlaydi. Ushbu imkoniyatni ishonchli, yuqori samarali va tejamkor yupqa plyonka ishlab chiqarishga erishish uchun mustahkam filtrlash strategiyasi bilan birlashtirish juda muhimdir.
Nashr vaqti: 2025-yil 25-dekabr
