Phủ chân không là gì?
Phủ chân không là công nghệ tiên tiến tạo ra lớp màng mỏng chức năng trên bề mặt vật liệu nền bằng phương pháp vật lý hoặc hóa học trong môi trường chân không. Giá trị cốt lõi của công nghệ này nằm ở độ tinh khiết cao, độ chính xác cao và bảo vệ môi trường, được sử dụng rộng rãi trong quang học, điện tử, công cụ, năng lượng mới và các lĩnh vực khác.
Hệ thống phủ chân không có cần phải trang bị bộ lọc đầu vào không?
Trước tiên, chúng ta hãy tìm hiểu các chất gây ô nhiễm thường gặp trong quá trình phủ chân không. Ví dụ như các hạt, bụi, hơi dầu, hơi nước, v.v. Những chất gây ô nhiễm này xâm nhập vào buồng phủ sẽ làm giảm tốc độ lắng đọng, lớp màng không đồng đều và thậm chí làm hỏng thiết bị.
Tình huống mà quá trình phủ chân không đòi hỏi bộ lọc đầu vào
- Trong quá trình phủ, vật liệu mục tiêu sẽ bắn ra các hạt.
- Yêu cầu về độ tinh khiết của lớp màng rất cao, đặc biệt là trong lĩnh vực quang học và chất bán dẫn.
- Có khí ăn mòn (dễ sinh ra trong quá trình bắn phá phản ứng). Trong trường hợp này, bộ lọc được lắp đặt chủ yếu để bảo vệ bơm chân không.
Tình huống mà quá trình phủ chân không không yêu cầu bộ lọc đầu vào
- Nhiều nhà cung cấp dịch vụ phủ chân không sử dụng hệ thống chân không cao hoàn toàn không dầu (như bơm phân tử + bơm ion), và môi trường làm việc sạch sẽ. Do đó, không cần bộ lọc đầu vào, hoặc thậm chí là bộ lọc khí thải.
- Có một tình huống khác mà không cần bộ lọc đầu vào, đó là yêu cầu về độ tinh khiết của lớp màng không cao, chẳng hạn như đối với một số lớp phủ trang trí.
Những điều khác về máy bơm khuếch tán dầu
- Nếu sử dụng bơm dầu hoặc bơm khuếch tán dầu,bộ lọc khí thảiphải được cài đặt.
- Lõi lọc polymer không chịu được nhiệt độ cao của bơm khuếch tán
- Khi sử dụng bơm khuếch tán dầu, dầu bơm có thể chảy ngược lại và làm nhiễm bẩn buồng phủ. Do đó, cần có bẫy lạnh hoặc tấm chắn dầu để ngăn ngừa sự cố.
Tóm lại, liệu hệ thống phủ chân không có cần thiết không?bộ lọc đầu vàophụ thuộc vào yêu cầu của quy trình, thiết kế hệ thống và rủi ro ô nhiễm.
Thời gian đăng: 19-04-2025
