פארדאַמפּונג קאָוטינג, אַ קערן פיזיש פארע דעפּאַזישאַן (PVD) פּראָצעס, באַשטייט פונדאַמענטאַל אויף וואַקוום טעכנאָלאָגיע. די וואַקוום פּאָמפּע איז נישט בלויז אַ הילפס מיטל, נאָר דער ווינקלשטיין וואָס ערמעגליכט דעם גאַנצן פּראָצעס דורך שאַפֿן און וישאַלטן אַ העכסט קאָנטראָלירט מאָלעקולאַר-וואָג סביבה. איר פונקציע גייט ווייטער ווי פּשוט לופט באַזייַטיקונג, און באַשטעטיקט די פּינקטלעכע פיזישע באדינגונגען וואָס זענען פארלאנגט פֿאַר דעפּאַזיטינג הויך-קוואַליטעט פאַנגקשאַנאַל דין פילמען.
די הויפּט סיבה פֿאַר דעם וואָס מען דאַרף אַ הויך וואַקוום איז צו זיכער מאַכן די גלייכע רייזע פֿון די פֿאַרדאַמפּטע פּאַרטיקלען. ביי אַטמאָספֿערישן דרוק, פֿאַראורזאַכט די הויכע געדיכטקייט פֿון גאַז מאַלעקולן באַלדיקע און צופֿעליקע קאָליזיעס, וואָס פֿאַרשפּרייטן דעם קאָוטינג מאַטעריאַל. אונטער הויך וואַקוום (טיפּיקלי 10⁻⁴ ביז 10⁻⁶ mbar), וואַקסט דער דורכשניטלעכער פֿרײַער וועג פֿון פֿאַרדאַמפּטע אַטאָמען אָדער מאַלעקולן דראַמאַטיש ביז עטלעכע מעטער, וואָס דערמעגלעכט זיי צו גיין גלייך פֿון דער מקור צום סאַבסטראַט. דאָס דערמעגלעכט פּינקטלעכע קאָנטראָל איבער דער פֿילם גרעב, איינהייטלעכקייט און קאָמפּאָזיציע.
דערצו, א הויך וואקיום סביבה פארמיידט אקסידאציע און קאנטאמינאציע. רוב מעטאלן (למשל, אלומיניום, כראם) און פארבינדונגען זענען העכסט רעאקטיוו ביי פארדאמפונג טעמפעראטורן. די כמעט-עלימינאציע פון רעאקטיווע גאזן ווי זויערשטאף און וואסער פארע גאראנטירט אז מאטעריאלן זאלן אפזעצן אין זייער ריינעם, מעטאלישן צושטאנד, וואס איז קריטיש פאר דערגרייכן ספעציפישע אפטישע, עלעקטרישע, אדער מעכאנישע אייגנשאפטן אין די לעצטע באדעקונג. די סביבה גיט אויך אן אטאמיש ריינע סובסטראט אויבערפלאך דורך דעזארבירן קאנטאמינאנטן, וואס איז וויכטיג פאר א שטארקע פילם אדכעזשאזש.
די וואַקוום פּאָמפּע סיסטעם אַקט ווי אַן ענווייראָנמענטאַל אינזשעניר. עס מוז שנעל אויפשטעלן דעם פארלאנגטן באַזע דרוק, דינאַמיש האַלטן פעסטקייט דורך באַזייַטיקן אַרויסגאַזינג פון מאַטעריאַלן און פיקסטשערז, און שעפּן בייפּראָדוקטן אין רעאַקטיווע פּראָצעסן. די פעסטקייט איז שליסל פֿאַר קאָנסיסטענט באַטש-צו-באַטש פּראָדוקציע קוואַליטעט.
די קריטישע נויטווענדיקייט פֿאַר פֿילטראַציע שטאַמט פֿון באַשיצן דעם פּינקטלעכן סיסטעם. דער קאָוטינג פּראָצעס אַליין קען שאַפֿן פֿײַנע פּאַרטיקולאַטן, געשפּריצטע טראָפּנס, אָדער קאָנדענסירבארע פארע. אָן געהעריקעאריינגאנג פילטער, די קאַנטאַמאַנאַנץ קענען צוריקגעצויגן ווערן אין די וואַקוום פּאָמפּע. דאָס פירט צו געוואקסענע אָפּנוץ אויף ראָוטאָרס און בליידז, קאַנטאַמאַניישאַן פון פּאָמפּע אויל (אין אויל-געחתמעט סיסטעמען), און גראַדועל דעגראַדאַציע פון פּאָמפּע גיכקייט און לעצט וואַקוום. לעסאָף, דאָס קאָמפּראָמיטירט פּראָצעס פעסטקייט, פאַרקירצט פּאָמפּע דינסט לעבן, און פאַרגרעסערט וישאַלט קאָס. דעריבער, ינסטאַלירן פּאַסיק פילטערס - אַזאַ ווי פּאַרטיקולאַט פילטערס, מאָלעקולאַר טראַפּס, אָדער קאַלט טראַפּס - איז נישט אָפּציאָנאַל אָבער אַ וויכטיקע ינוועסטירונג פֿאַר באַשיצן די וואַקוום פּאָמפּע, ענשורינג קאָנסיסטענט קאָוטינג קוואַליטעט, און באַשיצן פּראָדוקציע אַפּטיים.
אין גאַנצן, וואַקוום פּאָמפּעס ערמעגלעכן פֿאַרדאַמפּונג קאָוטינג דורך צושטעלן אַ ריין, אַנקאַנטאַמאַנייטאַד און קאָנטראָלירט סביבה פֿאַר מאַטעריאַל טראַנספּאָרט און פילם פאָרמירונג. צו פאַרבינדן דעם פיייקייט מיט אַ שטאַרק פילטריישאַן סטראַטעגיע איז וויכטיק פֿאַר דערגרייכן פאַרלאָזלעך, הויך-פאָרשטעלונג און עקאָנאָמיש דין-פילם פּראָדוקציע.
פּאָסט צייט: 25 דעצעמבער 2025
