Ni agbaye fafa ti fifin-fiimu ifisilẹ, elekitironi tan ina (e-beam) evaporation duro jade fun agbara rẹ lati ṣẹda mimọ-giga, awọn ibora ipon. Ibeere ipilẹ ti o wa ni ayika imọ-ẹrọ yii jẹ boya o nilo fifa igbale. Idahun si jẹ ohun aidaniloju bẹẹni. Eto igbale iṣẹ giga kii ṣe ẹya ẹrọ lasan ṣugbọn ohun pataki ṣaaju fun ilana lati ṣiṣẹ ni imunadoko ati daradara.
Ipilẹ ti evaporation e-beam jẹ idojukọ idojukọ itanna elekitironi agbara-giga sori ohun elo orisun kan (gẹgẹbi goolu, ohun elo afẹfẹ silikoni, tabi aluminiomu) ti o wa ninu omi ti o tutu. Alapapo agbegbe ti o lagbara nfa ki ohun elo naa yo ati ki o vaporize. Awọn ọta ti o ni erupẹ wọnyi lẹhinna rin irin-ajo ni oju-ọna laini-oju ati didi lori sobusitireti kan, ti o di fiimu tinrin. Gbogbo ọkọọkan yii dale ni pataki lori agbegbe igbale giga, ni igbagbogbo laarin iwọn 10⁻³ Pa si 10⁻ Pa.
Awọn iwulo fun iru igbale ti o pọju jẹ ilọpo mẹta. Ni akọkọ, o ṣe idaniloju irin-ajo ti ko ni idiwọ ti itanna elekitironi. Ni iwaju ọpọlọpọ awọn ohun elo gaasi, awọn elekitironi yoo tuka ati kọlu, padanu agbara wọn ati kuna lati fi ooru ti o pọ si ibi ibi-afẹde. Tan ina yoo defocus, ti o mu ki ilana naa ko ni doko.
Keji, ati ni pataki julọ, agbegbe igbale ṣe iṣeduro mimọ ati didara fiimu ti a fi silẹ. Laisi rẹ, awọn gaasi ti o ku bi atẹgun ati oru omi yoo jẹ alaimọ ti a bo ni awọn ọna apanirun meji: wọn yoo ṣe kemikali pẹlu ohun elo vapored lati dagba awọn oxides ti aifẹ, ati pe wọn yoo dapọ si fiimu ti ndagba bi awọn aimọ. Eyi ṣe abajade fiimu kan ti o la kọja, alemora kere, ati pe o ni awọn ohun-ini ẹrọ ti o kere ati awọn ohun-ini opiti. Igbale ti o ga julọ ṣẹda oju-ọna mimọ, “ballistic” fun awọn ọta ti a ti rọ, gbigba wọn laaye lati di ipon, aṣọ-aṣọ, ati ipele iṣotitọ giga.
Nikẹhin, igbale naa ṣe aabo fun filamenti ibon elekitironi. Kathode thermionic ti o njade awọn elekitironi nṣiṣẹ ni awọn iwọn otutu ti o ga pupọ ati pe yoo oxidize ati sisun jade ni kete ti o ba farahan si afẹfẹ.
Nitorinaa, eto fifa fafa kan — apapọ awọn ifasoke roughing ati awọn ifasoke igbale giga bi turbomolecular tabi awọn ifasoke kaakiri — jẹ pataki. Ni ipari, awọn igbale fifa ko ni o kan jeki elekitironi tan ina evaporation; o ṣe alaye rẹ, ti o n ṣe adehun ti ko ni adehun ti o ṣe pataki fun iṣelọpọ awọn ohun elo ti o ga julọ ti a beere nipasẹ awọn ile-iṣẹ lati awọn semikondokito si awọn opiti. O tun yẹ ki o waAjọlati daabobo awọn ifasoke igbale, ti ko ba si,pe wa.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-12-2025
