Ibora evaporation, ilana core physical deposition (PVD), da lori imo-ero evaporation. Pọ́ọ̀ǹpù evaporation kii ṣe ohun elo iranlọwọ nikan ṣugbọn ipilẹ ile ti o mu ki gbogbo ilana naa ṣiṣẹ nipa ṣiṣẹda ati ṣetọju ayika molecule ti a ṣakoso pupọ. Iṣẹ rẹ gbooro ju yiyọ afẹfẹ lọ, ni fifi awọn ipo ti ara ti o peye fun fifi awọn fiimu tinrin iṣẹ ṣiṣe ti o ga julọ silẹ.
Ìdí pàtàkì tí a fi ń béèrè fún ìfọ́mọ́ gíga ni láti rí i dájú pé àwọn èròjà tí a ti gbẹ máa ń rìn lọ ní ìlà títọ́. Níbi tí afẹ́fẹ́ bá ń tẹ̀ sí, ìwọ̀n gíga ti àwọn mọ́líkúùlù gaasi máa ń fa ìkọlù lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀ àti láìròtẹ́lẹ̀, èyí tí ó máa ń fọ́n ohun èlò ìbòrí ká. Lábẹ́ ìfọ́mọ́ gíga (nígbà gbogbo 10⁻⁴ sí 10⁻⁶ mbar), ipa ọ̀nà ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀ ti àwọn átọ̀mù tàbí mọ́líkúùlù tí a ti gbẹ máa ń pọ̀ sí i ní iye mítà, èyí tí ó ń jẹ́ kí wọ́n rìn tààrà láti orísun sí orísun náà. Èyí ń jẹ́ kí ìṣàkóso tí ó péye lórí sísanra fíìmù, ìṣọ̀kan, àti ìṣètò rẹ̀.
Síwájú sí i, àyíká afẹ́fẹ́ gíga ń dènà ìfọ́sídèéfín àti ìbàjẹ́. Ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn irin (fún àpẹẹrẹ, aluminiomu, chromium) àti àwọn èròjà máa ń ṣe ìyípadà gidigidi ní ìwọ̀n otútù ìfọ́sídèéfín. Fífẹ́ tí àwọn gáàsì oníṣe bíi oxygen àti omi yóò parẹ́ ń mú kí àwọn ohun èlò wà ní ipò mímọ́, irin wọn, èyí tí ó ṣe pàtàkì fún àṣeyọrí àwọn ohun-ìní opitika, iná mànàmáná, tàbí ẹ̀rọ nínú ìbòrí ìkẹyìn. Àyíká yìí tún ń pèsè ojú ilẹ̀ tí ó mọ́ tónítóní nípa mímú àwọn èròjà tí ó léwu kúrò, èyí tí ó ṣe pàtàkì fún ìdìpọ̀ fíìmù tí ó lágbára.
Ètò ẹ̀rọ fifa omi ìfọ́mọ́lẹ̀ náà ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí onímọ̀ ẹ̀rọ àyíká. Ó gbọ́dọ̀ yára gbé ìfúnpá ìpìlẹ̀ tí a nílò kalẹ̀, kí ó máa ṣe ìdúróṣinṣin nípa yíyọ àwọn ohun èlò àti àwọn ohun èlò kúrò, kí ó sì máa ṣe àwọn ohun tí ó bá jáde nínú àwọn iṣẹ́ ìṣiṣẹ́. Ìdúróṣinṣin yìí ṣe pàtàkì fún dídára iṣẹ́-ṣíṣe láti ìpele dé ìpele.
Àìní pàtàkì fún ìfọ́mọ́lẹ̀ jẹ́ láti inú dídáàbòbò ètò yìí. Ìlànà ìbòrí náà fúnra rẹ̀ lè mú àwọn ohun èlò kéékèèké, àwọn ìṣàn omi tí a ti fọ́nká, tàbí àwọn èéfín tí ó lè di èéfín jáde. Láìsí ìtọ́jú tó yẹ.àlẹ̀mọ́ ìwọ̀lé, àwọn èérí wọ̀nyí lè padà sínú ẹ̀rọ fifa omi. Èyí yóò mú kí àwọn rotor àti abẹ́ máa bàjẹ́ sí i, kí epo fifa omi náà má baà bàjẹ́ (nínú àwọn ẹ̀rọ tí a fi epo dì), àti kí ó má balẹ̀ díẹ̀díẹ̀, kí ó má baà bàjẹ́ díẹ̀díẹ̀, kí ó má ba ìdúróṣinṣin iṣẹ́ ọkọ̀ omi jẹ́, kí ó sì mú kí owó ìtọ́jú pọ̀ sí i. Nítorí náà, fífi àwọn àlẹ̀mọ́ tó yẹ sílẹ̀—bíi àwọn àlẹ̀mọ́ onípele, àwọn molecule dì, tàbí àwọn dìẹ̀mọ́ tútù—kì í ṣe àṣàyàn ṣùgbọ́n ó jẹ́ owó pàtàkì fún dídáàbò bo ẹ̀rọ fifa omi, rírí i dájú pé àwọ̀ náà dára, àti dídáàbòbò àkókò iṣẹ́.
Ni gbogbo gbogbo, awọn fifa afẹfẹ mu ki ibora evaporation ṣiṣẹ nipa pese agbegbe mimọ, ti ko ni idoti, ati ti a ṣakoso fun gbigbe ohun elo ati dida fiimu. Sisopọ agbara yii pẹlu ọgbọn iyọkuro ti o lagbara jẹ pataki fun aṣeyọri iṣelọpọ fiimu tinrin ti o gbẹkẹle, iṣẹ ṣiṣe giga, ati ti ko ni owo.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-25-2025
