Τι είναι η επίστρωση κενού;
Η επίστρωση κενού είναι μια προηγμένη τεχνολογία που εναποθέτει λειτουργικές λεπτές μεμβράνες στην επιφάνεια των υποστρωμάτων μέσω φυσικών ή χημικών μεθόδων σε περιβάλλον κενού. Η βασική της αξία έγκειται στην υψηλή καθαρότητα, την υψηλή ακρίβεια και την προστασία του περιβάλλοντος και χρησιμοποιείται ευρέως στην οπτική, την ηλεκτρονική, τα εργαλεία, τη νέα ενέργεια και άλλους τομείς.
Χρειάζεται το σύστημα επίστρωσης κενού να είναι εξοπλισμένο με φίλτρα εισόδου;
Αρχικά, ας μάθουμε ποιοι είναι οι συνηθισμένοι ρύποι στην επίστρωση κενού. Για παράδειγμα, σωματίδια, σκόνη, ατμοί λαδιού, υδρατμοί κ.λπ. Αυτοί οι ρύποι που εισέρχονται στον θάλαμο επίστρωσης θα προκαλέσουν μείωση του ρυθμού εναπόθεσης, ανομοιομορφία του στρώματος της μεμβράνης, ακόμη και ζημιά στον εξοπλισμό.
Η περίπτωση όπου η επίστρωση κενού απαιτεί φίλτρα εισόδου
- Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επικάλυψης, το υλικό-στόχος πιτσιλίζει σωματίδια.
- Η απαίτηση καθαρότητας του στρώματος μεμβράνης είναι υψηλή, ειδικά στους τομείς της οπτικής και των ημιαγωγών.
- Υπάρχουν διαβρωτικά αέρια (που παράγονται εύκολα κατά τον αντιδραστικό ψεκασμό). Σε αυτήν την περίπτωση, το φίλτρο εγκαθίσταται κυρίως για την προστασία της αντλίας κενού.
Η περίπτωση όπου η επίστρωση κενού δεν απαιτεί φίλτρα εισόδου
- Πολλοί πάροχοι υπηρεσιών επίστρωσης κενού χρησιμοποιούν ένα σύστημα υψηλού κενού χωρίς λάδι (όπως μοριακή αντλία + αντλία ιόντων) και το εργασιακό περιβάλλον είναι καθαρό. Επομένως, δεν χρειάζονται φίλτρα εισόδου ή ακόμα και φίλτρα εξαγωγής.
- Υπάρχει μια άλλη περίπτωση όπου δεν απαιτούνται φίλτρα εισόδου, δηλαδή η απαίτηση καθαρότητας του στρώματος μεμβράνης δεν είναι υψηλή, όπως για ορισμένες διακοσμητικές επιστρώσεις.
Άλλοι σχετικά με την αντλία διάχυσης λαδιού
- Εάν χρησιμοποιείται αντλία λαδιού ή αντλία διάχυσης λαδιού,φίλτρο εξάτμισηςπρέπει να εγκατασταθεί.
- Το στοιχείο φίλτρου πολυμερούς δεν είναι ανθεκτικό στην υψηλή θερμοκρασία της αντλίας διάχυσης
- Όταν χρησιμοποιείται αντλία διάχυσης λαδιού, το λάδι της αντλίας μπορεί να ρέει πίσω και να μολύνει τον θάλαμο επίστρωσης. Επομένως, απαιτείται ψυχρή παγίδα ή διάφραγμα λαδιού για την αποφυγή ατυχήματος.
Συμπερασματικά, αν το σύστημα επίστρωσης κενού χρειάζεταιφίλτρα εισόδουεξαρτάται από τις απαιτήσεις της διεργασίας, τον σχεδιασμό του συστήματος και τον κίνδυνο μόλυνσης.
Ώρα δημοσίευσης: 19 Απριλίου 2025
