Mis on vaakumkatmine?
Vaakumkatmine on täiustatud tehnoloogia, mis sadestab funktsionaalseid õhukesi kilesid substraatide pinnale füüsikaliste või keemiliste meetodite abil vaakumkeskkonnas. Selle põhiväärtused peituvad kõrges puhtuses, suures täpsuses ja keskkonnakaitses ning seda kasutatakse laialdaselt optikas, elektroonikas, tööriistades, uue energia ja muudes valdkondades.
Kas vaakumkatmissüsteem peab olema varustatud sisselaskefiltritega?
Esiteks uurime, millised on vaakumkatmisel esinevad levinumad saasteained. Näiteks osakesed, tolm, õliaur, veeaur jne. Need katmiskambrisse sisenevad saasteained põhjustavad sadestumiskiiruse vähenemist, kilekihi ebaühtlust ja isegi seadmete kahjustamist.
Olukord, kus vaakumkatmine nõuab sisselaskefiltreid
- Katmisprotsessi käigus pritsib sihtmaterjal osakesi.
- Kilekihi puhtusnõue on kõrge, eriti optika ja pooljuhtide valdkonnas.
- Seal on söövitavaid gaase (mis tekivad kergesti reaktiivsel pihustamisel). Sellisel juhul paigaldatakse filter peamiselt vaakumpumba kaitsmiseks.
Olukord, kus vaakumkatmine ei vaja sisselaskefiltreid
- Paljud vaakumkatmisteenuste pakkujad kasutavad täiesti õlivaba kõrgvaakumsüsteemi (näiteks molekulaarpump + ioonpump) ja töökeskkond on puhas. Seetõttu pole vaja sisselaskefiltreid ega isegi väljalaskefiltreid.
- On veel üks olukord, kus sisselaskefiltreid pole vaja, st kilekihi puhtusnõue ei ole kõrge, näiteks mõne dekoratiivkatte puhul.
Teised õli difusioonpumba kohta
- Kui kasutatakse õlipumpa või õli difusioonpumpa,heitgaasifilterpeab olema paigaldatud.
- Polümeerfiltri element ei ole difusioonpumba kõrge temperatuuri suhtes vastupidav
- Õli difusioonpumba kasutamisel võib pumbaõli tagasi voolata ja katmiskambrit saastata. Seetõttu on õnnetuse vältimiseks vaja külmalõksu või õlideflektorit.
Kokkuvõtteks, kas vaakumkatmissüsteem vajabsisselaskefiltridsõltub protsessi nõuetest, süsteemi konstruktsioonist ja saastumisriskist.
Postituse aeg: 19. aprill 2025
