Que é o revestimento ao baleiro?
O revestimento ao baleiro é unha tecnoloxía avanzada que deposita películas finas funcionais na superficie de substratos mediante métodos físicos ou químicos nun ambiente de baleiro. O seu valor fundamental reside na alta pureza, alta precisión e protección ambiental, e utilízase amplamente en óptica, electrónica, ferramentas, novas enerxías e outros campos.
O sistema de revestimento ao baleiro precisa estar equipado con filtros de entrada?
En primeiro lugar, imos aprender cales son os contaminantes habituais no revestimento ao baleiro. Por exemplo, partículas, po, vapor de aceite, vapor de auga, etc. Estes contaminantes que entran na cámara de revestimento provocan unha diminución da velocidade de deposición, unha desigualdade da capa de película e mesmo danos no equipo.
A situación na que o revestimento ao baleiro require filtros de entrada
- Durante o proceso de revestimento, o material obxectivo salpica partículas.
- O requisito de pureza da capa de película é alto, especialmente nos campos da óptica e os semicondutores.
- Hai gases corrosivos (que se producen facilmente na pulverización reactiva). Neste caso, o filtro instálase principalmente para protexer a bomba de baleiro.
A situación na que o revestimento ao baleiro non require filtros de entrada
- Moitos provedores de servizos de revestimento ao baleiro empregan un sistema de alto baleiro completamente libre de aceite (como unha bomba molecular + unha bomba de ións) e o ambiente de traballo é limpo. Polo tanto, non hai necesidade de filtros de entrada nin sequera de filtros de escape.
- Existe outra situación na que non se requiren filtros de entrada, é dicir, o requisito de pureza da capa de película non é alto, como no caso dalgúns revestimentos decorativos.
Outros sobre a bomba de difusión de aceite
- Se se emprega unha bomba de aceite ou unha bomba de difusión de aceite,filtro de escapedebe instalarse.
- O elemento filtrante de polímero non é resistente á alta temperatura da bomba de difusión
- Ao usar unha bomba de difusión de aceite, o aceite da bomba pode refluír e contaminar a cámara de revestimento. Polo tanto, require unha trampa de frío ou un deflector de aceite para evitar o accidente.
En conclusión, se o sistema de revestimento ao baleiro necesitafiltros de entradadepende dos requisitos do proceso, do deseño do sistema e do risco de contaminación.
Data de publicación: 19 de abril de 2025
