នៅក្នុងពិភពស្មុគ្រស្មាញនៃការដាក់ស្រទាប់ហ្វីលស្តើង ការហួតរបស់អេឡិចត្រុង (អ៊ី-ប៊ីម) លេចធ្លោសម្រាប់សមត្ថភាពបង្កើតថ្នាំកូតក្រាស់ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ សំណួរជាមូលដ្ឋានជុំវិញបច្ចេកវិទ្យានេះគឺថាតើវាត្រូវការម៉ាស៊ីនបូមធូលីដែរឬទេ។ ចម្លើយគឺពិតប្រាកដមែន។ ប្រព័ន្ធបូមធូលីដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់មិនគ្រាន់តែជាគ្រឿងបន្លាស់ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែជាតម្រូវការជាមុនសម្រាប់ដំណើរការដំណើរការប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព និងប្រសិទ្ធភាព។
ស្នូលនៃការហួតរបស់ e-beam ពាក់ព័ន្ធនឹងការផ្តោតទៅលើធ្នឹមអេឡិចត្រុងដែលមានថាមពលខ្ពស់ទៅលើសម្ភារៈប្រភព (ដូចជាមាស ស៊ីលីកុនអុកស៊ីដ ឬអាលុយមីញ៉ូម) ដែលមាននៅក្នុងឈើច្រត់ដែលត្រជាក់ដោយទឹក។ កំដៅក្នុងមូលដ្ឋានខ្លាំងធ្វើឱ្យសម្ភារៈរលាយនិងចំហាយ។ អាតូមដែលបែកខ្ចាត់ខ្ចាយទាំងនេះ ធ្វើដំណើរតាមខ្សែបន្ទាត់នៃការមើលឃើញ ហើយប្រមូលផ្តុំនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម បង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើង។ លំដាប់ទាំងមូលនេះគឺពឹងផ្អែកយ៉ាងសំខាន់ទៅលើបរិយាកាសទំនេរខ្ពស់ ជាធម្មតាក្នុងចន្លោះពី 10⁻³ Pa ដល់ 10⁻⁶ Pa ។
ភាពចាំបាច់សម្រាប់ការខ្វះចន្លោះបែបនេះគឺបីដង។ ទីមួយវាធានានូវការធ្វើដំណើរដែលមិនមានការស្ទះនៃធ្នឹមអេឡិចត្រុង។ នៅក្នុងវត្តមាននៃម៉ូលេគុលឧស្ម័នច្រើនពេក អេឡិចត្រុងនឹងខ្ចាត់ខ្ចាយ និងបុកគ្នា បាត់បង់ថាមពល និងមិនអាចបញ្ជូនកំដៅប្រមូលផ្តុំទៅគោលដៅ។ ធ្នឹមនឹងផ្លាត ធ្វើឱ្យដំណើរការមិនមានប្រសិទ្ធភាព។
ទីពីរ និងសំខាន់បំផុត បរិយាកាសខ្វះចន្លោះធានានូវភាពបរិសុទ្ធ និងគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់។ បើគ្មានវាទេ ឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់ដូចជា អុកស៊ីហ្សែន និងចំហាយទឹកនឹងបំពុលថ្នាំកូតតាមវិធីបំផ្លិចបំផ្លាញពីរ៖ ពួកវានឹងមានប្រតិកម្មគីមីជាមួយវត្ថុធាតុចំហាយដើម្បីបង្កើតជាអុកស៊ីដដែលមិនចង់បាន ហើយពួកវានឹងបញ្ចូលទៅក្នុងខ្សែភាពយន្តដែលកំពុងលូតលាស់ជាភាពមិនបរិសុទ្ធ។ លទ្ធផលនេះធ្វើឱ្យខ្សែភាពយន្តដែលមានភាពផុយស្រួយ មិនស្អិតជាប់ និងមានលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច និងអុបទិកទាប។ កន្លែងទំនេរខ្ពស់បង្កើតផ្លូវស្អាត "បាលីស្ទីក" សម្រាប់អាតូមដែលមានចំហាយទឹក ដែលអនុញ្ញាតឱ្យពួកវាប្រមូលផ្តុំទៅជាស្រទាប់ក្រាស់ ឯកសណ្ឋាន និងសុចរិតភាពខ្ពស់។
ទីបំផុត កន្លែងទំនេរការពារសរសៃកាំភ្លើងអេឡិចត្រុង។ cathode thermionic ដែលបញ្ចេញអេឡិចត្រុងដំណើរការនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ខ្លាំង ហើយនឹងកត់សុី និងឆេះស្ទើរតែភ្លាមៗ ប្រសិនបើប៉ះនឹងខ្យល់។
ដូច្នេះ ប្រព័ន្ធបូមស្មុគ្រស្មាញ - រួមបញ្ចូលគ្នានូវស្នប់រដុប និងម៉ាស៊ីនបូមធូលីខ្ពស់ដូចជា turbomolecular ឬ diffusion pumps - គឺមិនអាចខ្វះបាន។ នៅក្នុងការសន្និដ្ឋាន, ម៉ាស៊ីនបូមធូលីមិនគ្រាន់តែបើកការហួតធ្នឹមអេឡិចត្រុង; វាកំណត់វាដោយបង្កើតជាចំណងដែលមិនអាចបំបែកបាន ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ផលិតថ្នាំកូតដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ដែលទាមទារដោយឧស្សាហកម្មពីគ្រឿងអេឡិចត្រូនិកទៅអុបទិក។ ក៏គួរតែមានតម្រងដើម្បីការពារម៉ាស៊ីនបូមធូលី ប្រសិនបើមិនមានទេទាក់ទងមកយើងខ្ញុំ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១២-វិច្ឆិកា ឆ្នាំ២០២៥
