សំណួរទូទៅមួយនៅក្នុងការផលិតកម្រិតខ្ពស់គឺ៖ តើការផ្សារដែកអេឡិចត្រូនិច (EBW) ត្រូវការម៉ាស៊ីនបូមធូលីដែរឬទេ? ចំលើយខ្លីៗគឺពិតជាបាទមែន នៅក្នុងករណីភាគច្រើន។ ម៉ាស៊ីនបូមធូលីមិនមែនគ្រាន់តែជាគ្រឿងបន្សំប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែជាបេះដូងនៃប្រព័ន្ធ EBW ធម្មតា ដែលផ្តល់សមត្ថភាពពិសេសរបស់វា។
ស្នូលនៃ EBW ពាក់ព័ន្ធនឹងការបង្កើតស្ទ្រីមផ្តោតអារម្មណ៍នៃអេឡិចត្រុងដែលមានល្បឿនខ្ពស់ដើម្បីរលាយ និងបញ្ចូលវត្ថុធាតុ។ ដំណើរការនេះមានភាពរសើបខ្លាំងចំពោះម៉ូលេគុលឧស្ម័ន។ នៅក្នុងបរិយាកាសដែលមិនខ្វះចន្លោះ ម៉ូលេគុលទាំងនេះនឹងប៉ះទង្គិចជាមួយអេឡិចត្រុង ដែលបណ្តាលឱ្យធ្នឹមបែកខ្ចាត់ខ្ចាយ បាត់បង់ថាមពល និងបន្ថយការផ្តោតអារម្មណ៍។ លទ្ធផលនឹងជាការផ្សារដែកធំទូលាយ មិនច្បាស់លាស់ និងគ្មានប្រសិទ្ធភាព ដែលបំផ្លាញទាំងស្រុងនូវគោលបំណងនៃភាពត្រឹមត្រូវ និងការជ្រៀតចូលយ៉ាងជ្រៅរបស់ EBW ។ លើសពីនេះ cathode របស់កាំភ្លើងអេឡិចត្រុង ដែលបញ្ចេញអេឡិចត្រុង ដំណើរការនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ខ្លាំង ហើយនឹងកត់សុី និងឆេះភ្លាមៗ ប្រសិនបើប៉ះនឹងខ្យល់។
ដូច្នេះហើយ High-Vacuum EBW ដែលជាទម្រង់ទូទៅបំផុត ទាមទារបរិយាកាសស្អាតពិសេស ជាធម្មតាចន្លោះពី 10⁻² ដល់ 10⁻⁴ Pa ។ ការសម្រេចបាននូវប្រព័ន្ធបូមពហុដំណាក់កាលដ៏ទំនើប។ ស្នប់រដុបជាដំបូងយកបរិយាកាសភាគច្រើនចេញ បន្ទាប់មកម៉ាស៊ីនបូមធូលីខ្ពស់ ដូចជាម៉ាស៊ីនបូមធូលី ឬ turbomolecular ដែលបង្កើតលក្ខខណ្ឌចាំបាច់សម្រាប់ប្រតិបត្តិការដ៏ល្អប្រសើរ។ នេះធានាបាននូវការផ្សារដែកគ្មានការចម្លងរោគ និងមានភាពសុចរិតខ្ពស់ ដែលធ្វើឱ្យវាមិនអាចខ្វះបានសម្រាប់កម្មវិធីអវកាស វេជ្ជសាស្រ្ដ និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។
បំរែបំរួលដែលគេស្គាល់ថាជា Medium ឬ Soft-Vacuum EBW ដំណើរការនៅសម្ពាធខ្ពស់ (ប្រហែល 1-10 Pa)។ ខណៈពេលដែលវាកាត់បន្ថយពេលវេលាបូមចុះក្រោមយ៉ាងខ្លាំងសម្រាប់ផលិតភាពកាន់តែប្រសើរ វានៅតែត្រូវការម៉ាស៊ីនបូមធូលីដើម្បីរក្សាបរិយាកាសសម្ពាធទាបដែលមានការគ្រប់គ្រងនេះ ដើម្បីការពារការខ្ចាត់ខ្ចាយ និងអុកស៊ីតកម្មច្រើនពេក។
ករណីលើកលែងគួរឱ្យកត់សម្គាល់គឺ EBW ដែលមិនខ្វះចន្លោះដែលការផ្សារដែកត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងបរិយាកាសបើកចំហ។ ទោះយ៉ាងណានេះគឺជាការយល់ច្រឡំ។ ខណៈពេលដែលអង្គជំនុំជម្រះ workpiece ត្រូវបានលុបចោល កាំភ្លើងអេឡិចត្រុងខ្លួនវានៅតែរក្សានៅក្រោមកន្លែងទំនេរខ្ពស់។ បន្ទាប់មក ធ្នឹមត្រូវបានព្យាករតាមរយៈស៊េរីនៃសម្ពាធឌីផេរ៉ង់ស្យែល ទៅក្នុងខ្យល់។ វិធីសាស្រ្តនេះទទួលរងពីការបែកខ្ចាត់ខ្ចាយនៃធ្នឹមយ៉ាងសំខាន់ និងតម្រូវឱ្យមានការការពារកាំរស្មីអ៊ិចយ៉ាងតឹងរ៉ឹង ដោយកំណត់ការប្រើប្រាស់របស់វាចំពោះកម្មវិធីដែលមានកម្រិតសំឡេងខ្ពស់។
សរុបសេចក្តីមក ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នារវាងធ្នឹមអេឡិចត្រុង និងម៉ាស៊ីនបូមធូលី គឺជាអ្វីដែលកំណត់នូវបច្ចេកវិទ្យាដ៏មានឥទ្ធិពលនេះ។ សម្រាប់ការសម្រេចបាននូវគុណភាពខ្ពស់ និងភាពជាក់លាក់ដែល EBW ល្បីល្បាញនោះ ម៉ាស៊ីនបូមធូលីមិនមែនជាជម្រើសទេ វាជាតម្រូវការជាមូលដ្ឋាន។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១០-១០-២០២៥
