진공로
진공로는 진공 시스템을 사용하여 노실 내 공기를 배출함으로써 진공을 형성합니다. 진공로는 진공 담금질, 진공 브레이징, 진공 소결 등 산업 생산 분야에서 광범위하게 사용됩니다.
- 진공 담금질(템퍼링, 어닐링)은 공정 절차에 따라 진공 상태에서 소재나 부품을 가열 및 냉각하여 예상 성능을 달성하는 처리 방법입니다.
- 진공 브레이징은 용접 기술을 말하며, 용접된 부품들을 용가재의 융점보다 높고 모재의 융점보다 낮은 온도로 가열하는 방식입니다. 진공 상태에서 용가재가 모재에 습윤 및 유동하여 용접이 형성됩니다(브레이징 온도는 재료에 따라 다름).
- 진공 소결은 금속 분말 제품을 진공 상태에서 가열하여 인접한 금속 분말 입자가 접착 및 확산을 통해 소결되어 부품이 되는 방법입니다.
진공로는 기술에 따라 진공 브레이징로, 진공 담금질로, 진공 소결로, 진공 침탄로 등 여러 유형으로 나뉩니다. 예를 들어, 진공 소결로는 주로 반도체 부품의 소결 공정에 사용됩니다. 진공 소결, 가스 보호 소결, 그리고 일반 소결에 모두 사용할 수 있습니다. 진공 소결로는 반도체 장비 시리즈의 새로운 공정 장비로, 혁신적인 설계, 편리한 작동, 콤팩트한 구조를 갖추고 있으며, 단일 장치에서 여러 공정 흐름을 완료할 수 있습니다.
게시 시간: 2023년 9월 9일
