Жука пленка катмарынын татаал дүйнөсүндө электрондук нур (электрондук нур) буулануусу жогорку тазалыктагы, тыгыз жабындыларды жаратуу жөндөмдүүлүгү менен айырмаланат. Бул технологияны курчап турган негизги суроо, ал вакуумдук насосту талап кылат. Жооп талашсыз ооба. Жогорку өндүрүмдүүлүктөгү вакуум системасы жөн гана кошумча эмес, процесстин эффективдүү жана эффективдүү иштеши үчүн абсолюттук шарт.
Электрондук нурларды буулантуунун өзөгү суу менен муздатылган тигелде камтылган булак материалына (мисалы, алтын, кремний кычкылы же алюминий) жогорку энергиялуу электрон нурун бурууну камтыйт. Интенсивдүү жергиликтүү жылытуу материалдын эрип, бууланышына алып келет. Бул бууланган атомдор андан кийин көрүү сызыгы боюнча жүрүшөт жана субстратта конденсацияланып, жука пленканы пайда кылышат. Бул бардык ырааттуулук жогорку вакуумдук чөйрөгө критикалык көз каранды, адатта 10⁻³ Падан 10⁻⁶ Пага чейинки диапазондо.
Мындай ашынган боштуктун зарылдыгы үч эсе көп. Биринчиден, электрондук нурдун тоскоолдуксуз жүрүшүн камсыз кылат. Өтө көп газ молекулалары болгондо электрондор чачырап, кагылышып, энергиясын жоготуп, концентраттуу жылуулукту бутага жеткире албай калышат. Нур дефокус болуп, процессти натыйжасыз кылат.
Экинчиден, эң башкысы, вакуумдук чөйрө сакталган пленканын тазалыгын жана сапатын кепилдейт. Ансыз, кычкылтек жана суу буусу сыяктуу калдык газдар каптаманы эки кыйратуучу жол менен булгайт: алар бууланган материал менен химиялык реакцияга кирип, керексиз оксиддерди пайда кылышат жана алар өсүп жаткан пленкага кир катары кошулуп калмак. Бул көзөнөктүү, аз жабышчаак жана начар механикалык жана оптикалык касиеттерге ээ болгон пленканы пайда кылат. Жогорку вакуум бууланган атомдор үчүн таза, "баллистикалык" жолду түзүп, алардын тыгыз, бирдей жана жогорку бүтүндүк катмарына конденсацияланышына мүмкүндүк берет.
Акыр-аягы, вакуум электрондук тапанчанын жипти коргойт. Электрондорду чыгарган термиондук катод өтө жогорку температурада иштейт жана абага тийгенде дээрлик ошол замат кычкылданып, күйүп кетет.
Ошондуктан, татаал насостук система - турбомолекулярдык же диффузиялык насостор сыяктуу орой насосторду жана жогорку вакуумдук насосторду бириктирген - өтө зарыл. Жыйынтыктап айтканда, вакуумдук насос электрон нурунун бууланышын гана камсыз кылбайт; аны аныктайт, жарым өткөргүчтөрдөн оптикага чейинки тармактар талап кылган жогорку натыйжалуу жабууларды чыгаруу үчүн зарыл болгон бузулбас байланышты түзөт. Ошондой эле болушу керекчыпкаларвакуумдук насосторду коргоо үчүн, эгерде жок болсо,биз менен байланышыңыз.
Посттун убактысы: Ноябр-12-2025
