Буулантуу каптоосу, негизги физикалык буу чөктүрүү (PVD) процесси, негизинен вакуум технологиясына таянат. Вакуум насосу жөн гана жардамчы түзүлүш эмес, жогорку деңгээлде башкарылуучу молекулярдык масштабдагы чөйрөнү түзүү жана сактоо менен бүтүндөй процессти камсыз кылган негизги таш. Анын функциясы жөнөкөй абаны чыгаруудан алда канча кеңири жайылып, жогорку сапаттагы функционалдык жука пленкаларды чөктүрүү үчүн талап кылынган так физикалык шарттарды түзөт.
Жогорку вакуумду талап кылуунун негизги себеби - бууланган бөлүкчөлөрдүн түз сызыктуу кыймылын камсыз кылуу. Атмосфералык басымда газ молекулаларынын жогорку тыгыздыгы дароо жана кокустук кагылышууларды пайда кылып, каптоо материалын чачыратат. Жогорку вакуумда (адатта 10⁻⁴дан 10⁻⁶ мбарга чейин) бууланган атомдордун же молекулалардын орточо эркин жолу бир нече метрге чейин кескин көбөйөт, бул алардын булактан субстратка түз өтүшүнө мүмкүндүк берет. Бул пленканын калыңдыгын, бирдейлигин жана курамын так көзөмөлдөөгө мүмкүндүк берет.
Мындан тышкары, жогорку вакуумдук чөйрө кычкылдануунун жана булгануунун алдын алат. Көпчүлүк металлдар (мисалы, алюминий, хром) жана кошулмалар буулануу температурасында жогорку реактивдүү. Кычкылтек жана суу буусу сыяктуу реактивдүү газдардын дээрлик жок кылынышы материалдардын таза, металлдык абалында чөгүшүн камсыздайт, бул акыркы каптоодо белгилүү бир оптикалык, электрдик же механикалык касиеттерге жетүү үчүн абдан маанилүү. Бул чөйрө ошондой эле булгоочу заттарды десорбциялоо менен атомдук жактан таза субстрат бетин камсыз кылат, бул пленканын күчтүү адгезиясы үчүн маанилүү.
Вакуумдук насос системасы айлана-чөйрөнү коргоо инженери катары иштейт. Ал талап кылынган базалык басымды тез арада орнотуп, материалдардан жана арматуралардан газ бөлүнүп чыгууну алып салуу менен туруктуулукту динамикалык түрдө сактап, реактивдүү процесстерде кошумча продуктыларды иштетиши керек. Бул туруктуулук партиядан партияга өндүрүш сапатынын ырааттуулугу үчүн маанилүү.
Фильтрациялоонун маанилүү зарылдыгы ушул так системаны коргоодон келип чыгат. Каптоо процессинин өзү майда бөлүкчөлөрдү, чачыраган тамчыларды же конденсациялануучу бууларды пайда кылышы мүмкүн. Тийиштүү болбосокирүүчү чыпка, бул булгоочу заттар вакуум насосуна кайра тартылышы мүмкүн. Бул роторлордун жана калактардын эскиришинин көбөйүшүнө, насос майынын булганышына (май менен герметикалык системаларда) жана сордуруу ылдамдыгынын жана акыркы вакуумдун акырындык менен начарлашына алып келет. Акыр-аягы, бул процесстин туруктуулугуна доо кетирет, насостун иштөө мөөнөтүн кыскартат жана техникалык тейлөө чыгымдарын көбөйтөт. Ошондуктан, тиешелүү чыпкаларды, мисалы, бөлүкчөлөр чыпкаларын, молекулярдык тузактарды же муздак тузактарды орнотуу вакуум насосун коргоо, каптоонун сапатынын туруктуулугун камсыз кылуу жана өндүрүштүн иштөө убактысын коргоо үчүн милдеттүү эмес, бирок маанилүү инвестиция болуп саналат.
Жалпысынан алганда, вакуумдук насостор материалдарды ташуу жана пленканын пайда болушу үчүн таза, булганбаган жана көзөмөлдөнгөн чөйрөнү камсыз кылуу менен буулантуу менен каптоону камсыз кылат. Бул мүмкүнчүлүктү ишенимдүү, жогорку өндүрүмдүүлүктөгү жана үнөмдүү жука пленка өндүрүшүнө жетүү үчүн бекем чыпкалоо стратегиясы менен айкалыштыруу абдан маанилүү.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 25-декабры
